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用计量型AFM对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计
用计量型 ＡＦＭ 对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计——— 黄强先 袁 丹 尤焕杰
用计量型ＡＦＭ 对一维纳米基准栅的
标定及不确定度估计
黄强先 袁 丹 尤焕杰
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合肥工业大学 合肥 ２３０００９
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摘要 利用轻敲模式的计量型ＡＦＭ 对公称栅距为 ２４０ｎｍ一维基准样板进行了标定 在充分分析
、 、 ， 。
ＡＦＭ 的结构和特性 测量过程 数据处理的基础上 得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度
， 。 ，
通过全面的不确定度分析 估计值的扩展不确定度达到了亚纳米量级 该不确定度分析表明 对于纳米
， 、 ，
量级测量 不确定度估计不仅需要全面掌握测量仪器 测量过程中各种测量不确定因素的影响 还需要
考虑和估计常规测量过程中可以忽略的二次误差的影响。
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关键词 一维基准栅 计量型原子力显微镜 纳米计量 不确定估计
中图分类号： ； ： ／
ＴＨ７１ ＴＨ８９ ＤＯＩ １０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．１００４－１３２Ｘ．２０１２．０５．００５
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ＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｎｄＵｎｃｅｒｔａｉｎｔ ＥｓｔｉｍａｔｉｏｎｏｆＯｎｅ－ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌＲｅｆｅｒｅｎｃｅＧｒａｔｉｎ Ｕｓｉｎ
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