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矢量网络分析仪的校准技术 RohdeSchwarz Pushing limits 罗德与施瓦茨中国有限公司 安毅 产品经理 Tel: 010-6431 2828 Email: Adams.An@ 主要内容 概述 系统误差模型 校准方法及应用 概述 测量原理 概述 矢量网络分析仪的结构 概述 矢量网络分析仪的结构 概述 矢量网络分析仪的结构 概述 三通道矢量网络分析仪 概述 四通道矢量网络分析仪 概述 测量误差 系统误差 矢量网络分析仪内部测试装置的系统响应 外部测试装置的系统响应 随机误差 测试装置的稳定性 仪器的稳定性 系统误差模型 5误差项模型 系统误差模型 误差网络变换 系统误差模型 5误差项模型的校准 　如采用TOSM四个标准件进行校准，则可以根据由标准件所决定的端口信号之间的关系确定矩阵[R]和[T]的参数。 系统误差模型 10误差项模型（三通道矢量网络分析仪） 系统误差模型 开关切换对于误差模型的影响 因为开关位于参考接收机和三端口误差网络[R],[T]之间，所以在四端口误差网络[K]中包含了下列影响： 位置1 功率分配器，开关（位置1）和三端口误差网络[R] 位置2 　功率分配器，开关（位置2)和三端口误差网络[T] 前向和反向测量时，对应的误差网络和误差项不同。 　(R’11, R’22, R’12R’21, T’11, T’21 R’21 和 T“11, T“22, T“12T“21, R“22, T“12R“12) 称为10误差项模型 在10误差项模型中加入开关的泄漏误差，eI0，eII0。 　 称为12误差项模型 系统误差模型 10(12)误差项模型中对开关的要求 高重复性 高隔离度（大于VNA本身的动态范围) 无需良好匹配 可以有损耗 两个切换位置无需相等 系统误差模型 7误差项模型(四通道矢量网络分析仪) 系统误差模型 7误差项模型 系统误差模型 端口互耦消除的误差模型 系统误差模型 15误差项模型(四通道） 系统误差模型 15误差项模型(四通道） 系统误差模型 15误差项模型(四通道） 系统误差模型 15误差项模型(四通道） (a)-无端口互耦，采用TRM进行校准，只测量DUT (b)-以20dB衰减器模拟端口互耦，TRM校准，测量DUT (c)-以20dB衰减器模拟端口互耦，采用15误差项校准方法（如TMSO）进行校准，测量DUT 系统误差模型 22误差项模型(三通道） 系统误差模型 22误差项模型(三通道） 下表列出了可能的校准标准件的组合 需要至少两个传输标准件 为了达到最好的校准性能，A标准件应具有180度相移 校准方法及应用 校准技术主要参考文献 [1] Churchill, H. M., Susman, L., “A Six-Port Automatic Network Analyzer“, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, MTT-25, 1977, pp. 1086-1091 [2] Engen, G. F., Hoer, C. A., “Thru-Reflect-Line: An Improved Technique for Calibrating the Dual Six Port Automatic Network Analyzer“, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, MTT-27, 1979, pp. 987-993 [3] Eul, H.-J., Schiek, B., “Thru-Match-Reflect: One Result of a Rigorous Theory for De-embedding and Network Analyzer Calibration“, Proceedings of the 18th European Microwave Conference, September 12-16, Stockholm (Sweden), 1988, pp. 909-914 [4] Eul, H.-J., Schiek, B., “A Generalized Theory and New Calibration Procedures for Network Analyzer Self-Calibration“, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, MTT-39, 1991, pp. 724-731 [5] Heuermann, H., Schiek, B., “