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基于单片机和CPLD的无线膜厚监测系统
李先懿莫晓亮陈国荣
(复旦大学材料科学系上海200433)
AwirelessfilmthicknessmonitorbaseOilMCUandCPLD
system
Li
Xianyi，Mo Guorong+
Xiaoliang，Chen
ofMaterials
(DepartmentScience，Fudan
Abstract：Awirelessfilmthicknessmonitor baseOilMCUandCPLDWas
system
details
designed．Thesystem’S suchas
wereelaborated．们1emethodof Was
multi-cyclefrequency—measurement
synchronous
PIC18F2550MCUandAlteraEPM7064SCPLD．n圮nRF24L01
designedby chip
usedas transfer as
Was wirelessdata module．nehas
system advantages，such
many
low volume． 。
cost，lightweight，small
thickness ControllerUnit，
crystaloscillator,Micro
Keywords：Filmmonitor,quartz
device
Complexprogrammablelogic
摘要：设计了一种基于单片机和复杂可编程逻辑器件(CPLD)的无线膜厚监测系统。阐述了其
EPM7064S
功能、结构、硬件、软件等原理及其实现。系统采用PICl8F2550单片机和Altera
CPLD实现多周期同步法测量频率，采用nRF24L01无线数据传输模块实现远距离膜厚监测功
能。该系统克服了传统有线连接的局限性，并具有低成本，小型化等优点。
关键字：膜厚监测，石英晶体振荡器，单片机，复杂可编程逻辑器件
在工业生产和科学研究中，薄膜制备已成为一道基础并且关键的步骤。在薄膜制备过程
中，对薄膜厚度的监测显得尤为重要。监控薄膜厚度的方法主要有电阻法，称重法，石英晶
体振荡法和光电极值法及其改进，双色法，波长扫描法，电子模拟微分法，单色定值比较法，
双色四光路控制法，电离感测器法等…。这其中以石英晶体振荡法应用最为广泛。
microbalance，QCM)作为微量称量工具，可以测出
石英晶体微天平(quartzcrystal
10t10‘9克的质量。它具有体积小、灵敏度高、快速、简便等特点，已广泛用于化学、材料、
生物、医学、环境监测等领域。石英晶体微天平是基于石英晶体的压电效应对其电极表面的
·联系人：Tel：(021E-m
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