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电镜 电子显微镜
后来,人们终于发现:是显微镜所使用的光源 限制了光学显微镜的放大倍数和分辨率的进一步发展。因为,可见光的波长在390nm到760nm之间,而显微镜的分辨率最多也只能是其所使用光源的半波长的大小,所以光学显微镜的理论极限分辨本领也就在200nm左右。 由于电磁透镜能把电子束象光一样地聚焦成 像,所以使用电子束做为光源的显微镜就应运而生了。这就是电子显微镜。 一、电子显微镜的定义 电子显微镜,简称电镜。 是根据电子光学原理,用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜,使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。 二、结构组成及各部分作用 1.透射电子显微镜 特点 四、分辨本领的比较 五、电子显微镜与光学显微镜性能比较 光学显微镜以可见光为介质,电子显微镜为电子束为介质。 电子显微镜解析度远比光学显微镜高。 电子显微镜的分辨率(约0.2nm)远高于光学显微镜的分辨率(约200nm) 电子显微镜能直接观察到某些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。[电子显微镜的最大放大倍率(约为2000倍)远高于光学显微镜(超过300万倍)]。 电子显微镜需在真空条件工作,很难观察活的生物,且电子束的照射也会使生物样品受到辐照损伤。 六、电子显微镜的缺点 Thank you * 前言 电子显微镜的产生1.显微镜的历史 大约在400年前(1590年),由荷兰科学家杨森和后来的博物学家列文虎克发明和完善的显微镜,向人们揭示了一个陌生的微观世界,他们是开辟人类显微分析的始祖。 早期的显微镜 第一代显微镜——光学显微镜 1830年代后期为M.Schleide和T.Schmann所发明;因为早期的显微镜以玻璃镜片做透镜,使用可见光为光源,所以人们把它称为光学显微镜。它使人类“看”到了致病的细菌、微生物和微米级的微小物体,对社会的发展起了巨大的促进作用,至今仍是主要的显微工具。现在,最好的光学显微镜可以达到1500倍的放大倍数。 在光学显微镜的完善和发展过程中,人们发现:不管如何完善光学显微镜的透镜和结构,其放大倍数和分辨率总是被限定在1000多倍和几百纳米的水平,不可能再有所新的突破。 既然是光源限制了显微镜的放大倍数和分辨率的发展,那么要想提高显微镜的放大倍数和分辨率,就应该更换波长更短的光源。 随着人们对电磁波的认识,人们了解到:在一定的电压下电子束的波长可以达到零点几个纳米,使用电子束做为光源,显微镜的分辨率就可能提高几个数量级。 2.电子显微镜的产生 光源有了,那么如何使此光源聚焦呢? 研究发现:静电磁场可以使电子的运动方向发生改变,对称的静电磁场可以像玻璃聚焦光线那样把电子束汇聚成一点,这使得用电子束聚焦成像成为可能,这样就产生了电磁透镜。 第二代显微镜——电子显微镜 20世纪三十年代早期卢斯卡(E.Ruska)等发明了电子显微镜,使人类能”看”到病毒等亚微米的物体,它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。 1932年 电子显微镜 Ruska Knoll 样品架 探测器 真空装置 电子源 电子透镜 用来聚焦电子 保障显微镜内的真空状态,使电 子在其路径上不会被吸收或偏向 固定样品、改变样品(如转动、 加热、降温、拉长等)的装置 发射并形成速度均匀的电子束 样品架 真空装置 电磁透镜 电子源 收集电子的信号或次级信号 探测器 三、种类介绍 scanning electron microscope 主要用于观察体表面的形貌,与X射线衍射仪相结合构成电子微探针,用于物质成分分析。 transmission electron microscope 常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构。 透射式电镜 TEM 扫描式电镜 SEM 1.透射电子显微镜 镜筒结构:顶部是电子枪,电子由钨丝热阴极发射出、通过第一、第二两个聚光镜使电子束聚焦。电子束通过样品后由物镜成像于中间镜上,再通过中间镜和投影镜逐级放大,成像于荧光屏或照相底版上。 中间镜的两个功能:①通过励磁电流的调节,放大倍数可从几十倍连续地变化到几十万倍; ②改变中间镜的焦距,即可在同一样品的微小部位上得到电子显微像和电子衍射图像。 以电子束透过样品经过聚焦与放大后所产生的物像,投射到荧光屏上或照相底片上进行观察。 由于电子易散射或被物体吸收,故穿透力低,必须制备超薄切片(通常为50~100nm)。 电子束投射到样品时,可随组织构成成分的密度不同而发生相应的电子发射,如电子束投射到质量大的结构时,电子被散射的多,因此投射到荧光屏上的电子少而呈暗像,电子照片上则呈黑色,称电子密度高。反之,则称为电子密度低。 2.扫描电子显微镜 扫描电镜:是用极细的电子束在样品表面扫描,将产生的二次电子用特制的探测
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