微机电系统第六章微执行器.pptVIP

微机电系统 第6章 微执行器 第一部分 微执行器的致动方式与材料 压电材料 磁致伸缩材料 凝胶 电流变体 普通静电驱动 普通磁力驱动 普通热效应致动 形状记忆合金（SMA） 微执行器的性能比较 微执行器的性能比较 第二部分 典型微执行器——微马达 一、电磁型微马达 原理 典型产品 二、静电型微马达 性能 1、静电力驱动变电容式步进微马达 步辐分析 减摩技巧 工艺步骤 2、静电力驱动变电容式同步微马达 工艺步骤 3、静电力驱动谐波式微马达 特点 4、电悬浮减摩措施 三、微行星齿轮减速器 应用LIGA技术 第三部分 典型微执行器——微泵/微阀 1、微阀 性能 2、微泵膜片致动方式 压电致动膜片式 双金属膜片热致动式 记忆合金制动式 TiNi合金膜片制作工艺 热—气制动式 3、无阀微泵 工作原理 推导排量、效率 推导排量、效率 扩散管/喷管的理论分析 扩散管/喷管的理论分析 实际形状的设计 第四部分 典型微执行器 ——梳状微谐振器 结构与制作工艺 驱动力的计算 谐振频率计算 本章重点难点 本章学习要求 致动器、阀门、阀座+阀体； 最常用压电制动方式，压力防泄漏、响应速度 阀门——柔性体悬挂、硬中心、凸台面 措施： 结构： 关键问题：泄漏、磨损 接触平面 凸形环 软材料阀座 氮化硅（Si3N4）或金刚石膜 整流特性 太空微型飞