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  • 2018-01-19 发布于河北
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原子层沈积技术在未来超薄均匀薄膜.pdf

原子层沈积技术在未来超薄均匀薄膜

Bi-Weekly News 2004.04.30 目 錄 產業要聞與分析1 2004年為OUM技術是否突破關鍵技術的一年1 SoC發展面臨瓶頸,造就SiP發展方向被看好2 利用轉印方式於塑膠底板形成CPU複雜電路3 奈米轉印微影技術具有生產成本低與大量製造的潛力3 原子層沈積技術在未來超薄均勻薄膜的沈積上,將是不可或缺的角色4 工研院奈米電子研發視窗6 活動訊息6 聯絡窗口6 產業要聞與分析 2004年為OUM技術是否突破關鍵技術的一年 意法與其他業者協同開發相變化記憶體 (國際新聞中心林慶煇/綜合外電) 2004/04/05 電子時報 據網站Silicon Strategies報導,意法微電子(STMicroelectronics )與美國一家小公司 Ovonyx共同開發相變化記憶體(Phase Change Memory )已有突破,新技術將依0.18微米製 程需求設計,量產的可能性極高。 相變化記憶體是非揮發性(Non Volatile )記憶

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