智能薄膜材料PPT.ppt

智能薄膜材料; 形状记忆效应：将材料在一定条件下进行一定限度以内的变形后，再对材料施加适当的外界条件，材料的变形随之消失而回复到变形前的形状的现象． 形状记忆材料：具有形状记忆效应(Shape Memory Effect缩写SME)的材料． 有形状记忆效应的金属材料通常称为形状记忆合金(Shape　Memory Alloys，缩写SMA). ;马氏体：一种低温相 母体：高温相 Ms:由母体开始转变为马氏体的温度 Mf：马氏体相变完成的温度 As：马氏体经加热时开始逆相变为母相的温度 Af:逆相变完成的温度。 ;形状记忆效应表现为：当一定形状的母相样品由Af以上冷却至Mf以下形成马氏体，将马氏体在Mf以下变形，经加热至Af以上，伴随逆相变，材料会自动回复其在母相时的形状。 ;形状记忆合金在较低的温度下变形，加热后可恢复变形前的形状，这种只在加热过程中存在的形状记忆现象称为单程记忆效应。;1969年，美国Raychem公司大量用Ti-Ni记忆合金作F-14战斗机油压系统管接头，使用了10万多个，至今未发生破损或脱落等事故。 ; 记忆合金最令人鼓舞的应用是在航天技术中。 1969年7月20日，“阿波罗”11号登月舱在月球着陆。所用的直径数米大的天线就是用当时刚刚发明不久的记忆合金制成的。用极薄的记忆合金材料先按预定要求做好，然后降低温度把它压成一团，装进登月舱。放到月面上后，在阳光照射下温度升高，天线又恢复原来形状。; 形状记忆合金薄膜 近年来，机械、生物技术、半导体技术等领域的发展对微型机械和微型机器人发展提出了日益迫切的需求，而研究各种微机械，选择合适的驱动材料特别重要。机敏材料（Smart material）,如形状记忆合金、压电材料、磁致伸缩合金，它们可以用电信号来控制材料的变形，直接将电能转化为机械能，尤其引人注意。; 可以看出，在较低的相应频率下，形状记忆合金薄膜的输出应力、应变最大，单位体积功密度最高，因此，形状记忆合金薄膜有望成为最有发展前景的输出力和位移大、功密度高的微驱动器材料。 形状记忆合金以薄膜形态作为微驱动材料时，具有如下的几个特点： 1）形状记忆合金电阻率大（如TiNi为100μΩcm),薄膜化后的电阻显著升高，因此可以通过微电流加热使薄膜相变输出应力和应变。 2）由于为薄膜材料，散热效果好。 3）形状记忆合金既是驱动功能材料，同时又可以作为结构材料使用。 ; 由于Ni-Ti是目前最常用的形状记忆合金，对于SMA薄膜的研究主要集中在Ni-Ti ， Ni-Ti –X薄膜的制备及其特性研究。 Ni-Ti形状记忆合金薄膜研究始于90年代初，首先由机器人研制者采用溅射法研制Ni-Ti薄膜，但一直没获得具有完全形状记忆效应的薄膜。原因有两个：一是薄膜制造困难，高温下Ti与氧气等杂质起反应，这些杂质存在使薄膜记忆效应明显下降，二是薄膜记忆特性的定量检测难，若测不到准确数据不可能通过信息反馈来改进制造工艺。 形状记忆合金（SMA)薄膜制备主要使用PVD(物理气相沉积)喷涂的方法,包括激光烧蚀法（Laser ablation),氩离子 辅助沉积法（Arc Ion sputtering)磁控溅射方（Magnetic sputtering)以及闪光蒸镀法（ Flash evaporation)。 目前制备Ni-Ti、Ni-Ti-X薄膜最多使用的是直流磁控溅射法。 ;影响Ni-Ti基薄膜性能的主要因素 成分： 研究发现，由于Ti和Ni的溅射速率不同，在基片表面的溅射速率也有一定的不同，造成NiTi薄膜中Ti原子的含量往往较NiTi合金靶材低1-4%.调整溅射时薄膜的成分大致有以下几种方法： 一、采用靶镶嵌的方法：通过在一Ni-Ti合金靶上按定规则形状若干纯Ti。通过调整Ti片的面积，可以灵活调整薄膜的成分。 二、采用双靶溅射，通过调整两个靶材溅射功率的大小，可以调整薄膜成分。而且用该方法也可以制备具有梯度成分的薄膜。 三、延长预溅射的时间。Ni-Ti靶一般溅射一段时间后，薄膜的成分可以达到与靶材的相一致。;真空度： TiNi合金中氧、碳原子的介入,将强烈的影响到TiNi合金的相变温度和形状记忆效应。尤其在溅射制膜过程中,Ti原子的活性大,很容易与氧原子反应生成氧化物,从而降低了TiNi薄膜中的Ti含量,导致相变温度降低,因此,溅射过程中一般要求真空度高于10-4Pa,以避免在薄膜中引入过多的C、O,恶化TiNi薄膜的性能。 非晶薄膜的晶化 如果在溅射沉积薄膜的过程中对基板不加热，则得到的薄膜为非晶态，不具备形状记忆效应，需要对非晶态薄膜进行晶化处理才能使薄膜具有形状记忆效应。不同研究者的结果表明，非晶NiTi薄膜晶化温度在480-550℃之间。; 因为非晶薄膜高