第四章 传感器1—2电阻.pptVIP

* 第四章 传感器 传感器是将被测量转换成为与之有确定对应关系的、容易测量、传输或处理的另一种形式的量的装置。 传感器输出的电信号有电压、电流、频率、脉冲等。 一、概述 1、定义和组成 传感器由敏感元件（传感元件）和辅助元件组成。 2、要求 传感器是测试系统重要组成部分，必须有良好的性能。主要有：(1)输入与输出成比例，直线性好，灵敏度高；(2)内部噪声小，且具有抗外部噪声的能力；(3)滞后、漂移误差小；(4)动态特性好；(5)功耗小；(6)不因接入而使测量对象受到影响；(7)重复性好，有互换性；(8)寿命长；(9)容易维修和校正。 3、发展方向 传感器技术所涉及的知识面广，渗透到各个学科。但是他们的共性是利用物理定律和物质的物理特性，进行电量的转换。就其发展途径，就是如何采用新技术、新工艺、新材料，探索新理论，以达到高质量的转换效能。它将向以下几个方面发展： （1）高正确度。 如超精加工“在线”检测准确度高于0.1um （2）小型化。 如生活医学工程中颅压的测量、风洞中压力场分布的测量 （3）集成化。有两种类型，一是将传感器与放大器、温度补偿电路集成在同一芯片上，既减小体积，又提高抗干扰能力。另一是将同一类的传感器集成在同一芯片上构成一维或二维阵列式传感器，它可以测量物体的表面状况。 （4）数字化。 与计算机直接相连 （5）智能化。传感器与计算机结合，有检测与信息处理功能 二、电阻式传感器 (一)、电位器式电阻传感器 电阻式传感器是利用电阻元件把被测的物理量的变化,变换成电阻阻值的变化，来测量该物理量的传感器。 电阻式传感器 应变式电阻传感器： 电位器式电阻传感器： 用于被测对象参数 变化较大的场合 用于电阻值变化甚小的情况,灵敏度较高 1.工作原理 被测量的变化通过机械结构,使电位器的滑臂产生相应的位移,改变了电路的电阻值,引起输出电压的改变,从而达到测量被测量的目的。 电位器输出电压Uo为： （m=R/RL, x=Rx/R ） 电位器的输出电压Uo与滑臂的相对位移量x是非线性关系，只有当m=0，即RL→∞时，Uo与x才满足线性关系，非线性关系完全是负载电阻RL的接入而引起的。 2.非线性误差 右图表示非线性误差与m及x的函数关系，图中横坐标是x=Rx/R,参变量为m。由图可见, 非线性误差在整个行程中保持在1%~2%以内,负载电阻RL必须比电位器电阻大10~20倍。 采用特制的非线性结构电位器，如曲线骨架绕制的非线性电位器，其骨架形状是一种特殊的函数关系，改善非线性。 改善非线性的方法： 采用射极输出器或源极跟随器等方法，增大RL的阻值； 3.特点与应用 优点：结构简单、价格便宜、输出功率大，可直接接指示仪表,简化了测量电路。 缺点：分辨力不高（难以优于20um），精度低、噪音大、动态响应差 。 应用：可测量压力、位移、加速度，在测量仪器中用于伺服记录仪器。 (二)、应变式电阻传感器 应变式电阻传感器是利用导体或半导体材料的应变效应制成的一种测量器件。 1．应变效应和灵敏度 (1)应变效应 ：导体或半导体材料在外界作用下产生机械变形，其阻值发生变化的现象。 金属导体的电阻R可用下式表示： 由于?,l,A的变化而引起电阻的变化,可通过全微分求得： 相对变化量： 电阻丝是圆截面，则A=πr2,其中r为电阻丝的半径，微分后可得dA=2?rdr，则： dl/l=ε为轴向应变，dr/r为电阻丝径向应变。两者之间关系： 因此， 而 则 定义金属丝的灵敏度为： 它的物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化 2．电阻应变片的种类 应变片有两大类：金属电阻应变片和半导体电阻应变片 。 (2)灵敏度 (1)金属电阻应变片 金属电阻应变片分丝式应变片和箔式应变片 丝式应变片结构是用一根金属细丝按图示形状弯曲后用胶粘剂贴于衬底,电阻丝两端焊有引出线,电阻丝直径为0.012~0.050mm之间。 箔式应变片的结构是用光刻、腐蚀等工艺方法制成的一种很薄的金属箔栅, 箔的厚度一般在0.003~0.010mm,它的优点是表面积和截面积之比大,散热条件好,故允许通过较大的电流,并可做成任意形状,便于大量生产。 金属电阻应变片的λE项远小于(1+2μ)项，因而半导体应变片的灵敏度近似为： 压阻效应：指单晶半导体材料,沿某一轴向受到外力作用时,其电阻率?发生变化的现象。 半导体应变片的λE项比(1+2μ)项大近百倍,所以(1+2μ)项可忽略,因而半导体应变片的灵敏度为： (2)半导体应变片 半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。 3.特点与应用 优点：· 电阻变化率与应变可保持很好的线性关系 · 尺寸小,重量轻, 对试件的影响很小 · 测