第四章 传感器8—9激光光线.pptVIP

* 八、激光传感器 (一)、激光的特性 具有以下重要特征： 1．高方向性（高平行性）。严格地沿着一定的方向发射，其光束的分散角只有10-4~10-6rad。 2．高单色性。光的颜色取决于光的波长（或频率），但单色光也并不是单一光波的光，而是在光谱上占有一定的谱线宽度Δ λ， Δ λ越窄，广的单色性越好。格地沿着一定的方向发射，其光束的分散角只有10-4~10-6rad。氪86灯发出的特定光，单色性为Δ λ=0.00047nm，而氦氖激光器发出的光，其Δ λ=10-8nm，高出10万倍。 3．能量高度集中。能在极短的时间内把能量高度集中起来，照射到极小的空间面积上，产生几百万度的高温。 4．干涉能力强。两相干光经不同的光路向遇能产生干涉，普通光干涉距离几厘米，而激光为几百米，甚至几公里。 在测试领域利用激光技术，可以检测长度、位移、速度、转速、振动、表面质量等。 (二)、激光干涉测长技术 利用光波的干涉现象来测量长度，其精度取决于光的单色性，激光的出现为干涉测长提供了极好的相干光源。主要有激光量块干涉仪、激光测长仪、小角度干涉仪、激光坐标测量仪、单、双频激光干涉仪等高精度仪器。 例单频激光干涉仪，是以激光为光源的迈克尔逊干涉系统 单频激光干涉测长是一种鉴幅过程，即按光电元件产生的信号幅值确定干涉次数进而测定长度，而信号幅值易受各种因素干扰造成误差甚至错误。解决的途径有： 1、采用双频激光干涉测长，它是鉴频过程，有效消除幅值干扰对测长准确度的影响。但激光器件和电路较复杂。 2、控制对单频激光干涉信号幅值的干扰因素，限制在一定范围之内。 (三)、激光全息干涉测量技术 激光全息照相的两次曝光法是利用激光全息干涉技术测量物体表面位移（变形）的有效方法。 右图为激光全息照相的光路原理图。 激光全息照相两次曝光法的工作原理是利用两幅全息图可以储存在同一张全息胶板上这一特点。在被测物体没有受载荷前，进行第一次全息曝光，在被测物体上加一定载荷后，使其变形，并在同一胶板上进行第二次曝光。因此胶板将被测物体变形前后的全部信息都记录了下来。经显影、定影后的胶板放回原光路系统，用原来进行记录时所用的参考光照射。由于两个全息图上的物光波存在光程差，并在空间产生干涉现象，则通过全息图将看到由黑白相间的干涉条纹图覆盖着的被测物体的三维虚像。这些干涉条纹便是物体受载荷作用后其表面位移（变形）的等值线，利用这些干涉条纹便可定量分析和计算被测物体各处的变形情况和结构刚度的分布状态，并用来改进和指导被测物体新结构设计的依据。 (四)、激光衍射测量技术 当用一束平行光照射细丝时，其后面的屏幕上可获得夫琅禾费衍射现象。 利用光斑（亮点或暗点）距离S的变化来测量细丝的直径： 测量细丝直径的范围为0.01~0.3mm，测量精度可达0.1um。属于非接触式测量。 (五)、激光准直测量技术 所谓准直是指在安装和测量过程中能提供理想的基准直线。 原先采用拉钢丝法和采用光学准直望远镜。拉钢丝法由于钢丝的自然下垂和抖动及测量时认为因素，误差很大。而使用光学仪器也存在着瞄准与否因人而异，调焦直线性误差等，同时长距离时照明度低、像质模糊等缺陷。 激光具有良好的方向性和很高的亮度，它是准直技术很好的光源。现在已普遍使用如激光水准仪、经纬仪、激光指向仪、能够自动控制物体运动方向的激光导向仪等。 激光准直仪的工作原理 九、光纤传感器 光纤传感器是伴随光导纤维及光纤通信技术的发展而形成的，目前可以检测的物理量已近百种。主要有位移、压力、温度、流量、速度、加速度、振动、应变、磁场、电压、电流、化学量、生物医学量等。 光纤传感器是以光学测量为基础，按光纤作用，可分为两大类： 一类是利用光纤本身的某种敏感特性或功能制成的传感器，它不仅起传输光波的作用，还起着敏感元件的作用——为功能型传感器。 另一类光纤仅仅起传光媒介的作用，在光纤中断部的端面加装其它敏感元件构成传感器——传光型传感器。 (一)、光纤的传光原理 1、光纤结构 光纤是用很细的石英玻璃制成的，中央有个直径为几十微米的细芯，芯子的外面有一圈直径100~200微米的包层，包层外面是保护层。如图： 2、传光原理 3、光纤传感器的应用 A、传光型光纤位移传感器 可用于声压、水压、机械振动的测量 B、反射式光纤位移传感器 C、光纤压力传感器 D、光纤温度传感器 光纤温度传感器是目前仅次于加速度、压力传感器而广泛使用的光纤传感器。根据工作原理可分为相位调制型、 光强调制型和偏振光型等。 仅介绍一种光强调制型的半导体光吸收型光纤温度传感器, 图示为这种传感器的结构原理图, 它的敏感元件是一个半导体光吸收器, 光纤用来传输信号。 这种光纤温度传感器是由半导体光吸收器、光纤、发射光源和包括光控制器在内的信号处理