电化学机械复合抛光薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底精选.pdfVIP

第 24卷 第 2期 光学 精密工程 Vo1．24 No．2 2O16年 2月 OpticsandPrecisionEngineering Feb．2016 文章编号 1004—924X(2016)02—0343—07 电化学机械复合抛光薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底 张克华 ，石 栋，刘润之，肖志兰，程光明 (浙江师范大学精密机械研究所，浙江金华 321004) 摘要：设计了针对薄膜太阳能电池柔性不锈钢衬底的电化学机械复合抛光法 以满足其对表面粗糙度、光反射率和有害物 质扩散 的要求 。首先，设计并制造 了一种用于平面加工的复合阴极刀具 ，理论分析 了它的材料去除机理。然后 ，结合法 拉第原理和黏着摩擦理论分析了电化学腐蚀行为和摩擦力作用行为，解决了电化学腐蚀和机械去除钝化膜的匹配一致 性 问题 。最后 ，以5OmniX50nlm×0．3mm规格的304不锈钢为阳极工件 ，对提 出的方法进行 了实验验证 。结果显示 ： 对衬底加工 20rain后 ，其表面粗糙度 R 从 124nm降到 lOnrn；表面反射率从加工前的56．8 提高到 62．4 ；表面金 属氧化层的形成(氧化铁和氧化铬)，有效阻挡了Fe和 cr离子的扩散。实验显示，提出的方法是处理柔性不锈钢表面的 有效方法，成本低、效率高。 关 键 词 ：电化学复合抛光 ；薄膜太 阳能 电池 ；柔性衬底 ；不锈钢薄片；材料去除；黏着摩擦 ；光反射率 中图分类号 ：TG662；TM914．42 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE0343 Electrochemicalmechanicalpolishingofthin film solarcellflexiblestainlesssteelsubstrate ZHANG Ke—hua ，SHIDong，LIU Run—zhi，XIAO Zhi—lan，CHENG Guang—ming (InstituteofPrecisionMachinery，ZhejiangNormalUniversity，Jinhua321004，China) *C0rjes0 gauthor，E-mail：mature@ nu．edu．cn Abstract：A novejmethod integratingelectrochemicaImachiningwithmechanicaIactionwasproposed topolishtheflexiblemetalfoiltosatisfytherequirementsofthin—film solarcellflexiblestain1esssteel substrateforlowersurfaceroughness，higherlightreflectionrateandlowerharmfulimpurity Firstly， ． acompoundcathodewasdesignedandmanufacturedformachiningflatsurfaces，meanwhileitsmecha— nism on thematerialremovalwasanalyzed．Then，theelectrochemicalcorrosionbehaviorsandfriction effectswereanalyzedbasedontheFaradaylaw andadhesionfrictiontheory， bywhich thematchac— tlonbetween electrochemicalcorrosionandmechanicalactionwasresolved