高分辨率平场全息凹面光栅的研制.pdf

维普资讯 光 电 子 ·嫩 光 第 17卷 第 7期 2006年 7月 JournalofOptoelectronics·Laser Vo1．17No．7 Ju1．2006 高分辨率平场全息凹面光栅的研制 李朝明一 ，吴建宏，赵艳皎，唐敏学 (苏州大学信息光学工程研究所 ，江苏 苏州 2150O6) 摘要 ：提 出一种利用 ZEMAX软件设计 、分析评价平场全息凹面光栅的方法 。该方法不需要求解复杂 的 高级像差方程组，兼顾平像场和提高分辨率的效果显著。ZEMAX软件能对设计结果迅速进行评价 ，减 少 了人工运算 ，提高了设计结果的可信度及工作效率 。研制了直径 一60mm、F／#一3．3和使用波长 范围为652～704am的全息凹面光栅 ，对设计结果分析表 明：在点光源再现情况下 ，理论分辨率优于 0．1am；在宽度为 30,um缝光源再现情况下，理论分辨率优于 0．2am。实际研制结果与理论分析相符 。 关键词 ：全息 ；凹面光栅 ；线 阵 CCD；ZEMAX软件 中图分类号 ：0438．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1005—0086(2006)07—0828—04 DevelopmentofFiatField HolographicConcaveGratingswithHigh—resolution LIChao—uring一 ，WUJian—hong，ZHAOYan—jiao，TANGMin—xue (InstituteofInformationOpticalEngineering，SuzhouUniversity，Suzhou215006，China) Abstract：A methodwhichusesZEMAX softwareto design，analyse andevaluateflatfield holographicconcavegrating isgiven inthe paper．Thismethod issimple and efficientin bothflatfieldandimprovingresolvingpower．Itneednotsolveanycomplexhigh-orderab- errationequations．Toagreatextentitcanreducetheoperationofmanualwork，enhance the reliability ofthe designand the work efficiency．Anexample offlatfieldholographic concavegratingisgiven，inwhichthediameteroftheconcavegrating =60mm，F／#= 3．3，andtherangeoftherecOnstructiOnwavelengthis652— 704nm．Thedesignresultsare analyzedand evaluated inthe paper．Itshows that：Ifthe spotsource is used to recon- struct，theoreticaIresolution isbetterthan0．1nm ；Iftheslotsource，whosew idth is30Um ， isusedtoreconstruct，theoreticalresolutionisbetterthan0．2nm ．Theexperimentalresults are ingoodagreementwiththetheoreticalanalysis． Keywords：holography；concavegrating；linearCOD；ZEMAX