反光镜镀膜生产关键点.pptx

反光镜镀膜生产关键点控制 镀膜车间 2009-8-18 关键点 一、杜绝返油生产： 预防措施： 1、每小时观察冷井工作状态是否正常，不正常立即上报车间，并做好记录； 2、每4小时观察冷水机冷却水温度是否低于28度，高于28度立即上报车间，并做好记录； 3、1100镀膜机扩散泵关机温度控制在120度一下，6#机冷却2.5小时，做好关机温度记录，做好关闭扩散泵与关机时间记录； 4、1100镀膜机扩散泵预热要1小时以上才能抽高真空，1350镀膜机扩散泵预热要2小时以上才能抽高真空，做好开扩散泵时间与抽真空时间记录； 关键点 二、停电或水泵坏了停水处理措施： 依顺序立即关闭高阀，电子枪阻蒸，离子源，烘烤，工转； 然后立即打开1350镀膜机后部的自来水，同时关闭冷却桶进水阀门与水泵电源；具体操作如下： 冷却水正常工作状态 停电水泵坏开自来水状态 停电水泵坏开自来水状态 关键点 三、真空度 预防措施： 1、控制枪阻蒸工作本底真空度5 × 10-3Pa； 2、加强车间巡检督查力度，抽查在镀真空度与记录； 3、培训宣导真空度对产生铝变的影响及铝变问题对产品影响的严重性； 四、真空室清洁度 预防措施： 1、衬板电极挡板等泡完片碱后用砂纸全部砂过一遍，然后用清水冲洗一遍，再用纱布蘸点配好得酸液擦拭一遍，然后再用清水冲洗一遍烘箱烘干，最后用纱布蘸点酒精擦拭一遍即可安装衬板和电极等； 2、每天交接班检查高阀盖并用纱布蘸丙酮擦拭一遍； 关键点 五、新钨丝油质及脏污 预防措施： 1、新钨丝使用前单独抽真空烧亮，一次可以多烧几根，把多余的卸下了用白纸包好放置在干燥的位置待用；或者一次就烧四根直接使用； 2、烧好的钨丝不得用手直接接触；包括工具在使用前都必须用丙酮擦拭干净； 六、铝丝脏与污染 预防措施： 1、剪刀使用前用丙酮擦拭干净； 2、铝丝剪之前用擦拭布蘸丙酮擦拭多次，直到铝丝擦亮，擦拭布几乎不黑为宜； 3、剪好的铝丝要用白纸盖好，镊子头不能用手直接接触，并与铝丝分开放置保持干净； 关键点 七、清洗残留物与腐蚀 预防措施： 1、烘干槽，第12槽定期清洁更换IPA； 2、加强车间过程巡检，保证超声波各槽清洗时间与功率符合工艺要求； 3、烘干槽液位定时观察修正； 4、严格按工艺控制零件在各槽浸泡时间，加快流程； 5、定期更换各槽过滤芯； 6、定时检查冷却水工作状态； 7、定时检查纯水指数，定期清洗纯水混床； 关键点 八、清洗好的玻璃暴露空气时间≤20分钟 预防措施： 1、协调好烘玻璃时间，篮数多要两个烘干槽同时烘； 2、上盘要准备好锅及时上盘，同时做好记录； 3、等锅的要计算好烘玻璃时间，同时要先下盘再清洁真空室及准备工作； 4、取件装件时过道空调要及时关闭； 九、手修工序参数 1、抛光液浓度保证1.003-1.005； 2、抛光液温度保证31 ℃ -35 ℃； 3、抛光间室温保持26-28 ℃； 4、压力3Kg； 5、碱液配比: 碱800-850克+水16000ml； 6、酸液配比:盐酸100ml+硝酸100ml+水13000ml；