薄膜光学技术1.ppt

薄 膜 光 学 技 术——前言 DWDM filter 制作关键技术的解决 例如：解决无温漂、基板测温、低损耗 基底材料、镀膜材料（k~-4,T~67%或1.87dB;k~-5,T~95%或0.2dB) 温度监控：热像仪、激光测温 工艺手段 德国Leybold ：APS源、电子枪 日本Optorun：电子枪+离子辅助 美国Ion-tech：离子束溅射 薄 膜 光 学 技 术——前言 本学期课程安排 光学薄膜的基础理论 分析光学薄膜的几种有效方法 几种典型膜系介绍 成膜机理及工艺简介 常用的薄膜材料特性 薄 膜 光 学 技 术——基础理论 光学薄膜基础理论 几个条件： 工作波段：光学 薄膜厚度于考虑的波长在一个数量级 薄膜的面积与波长相比可认为无限大 薄膜材料各向均匀、同性 薄膜材料为非铁磁性材料 光穿过膜层而非沿着膜层在膜层内传播 薄 膜 光 学 技 术——基础理论 Dr. Angus Macleod has over 200 publications in the field of optics including the book Thin Film Optical Filters. He is Professor Emeritus of Optical Sciences at the University of Arizona and President of Thin Film Center Inc. For his work in education and research he was awarded the 1997 Esther Hoffman Beller medal of the Optical Society of America for outstanding contributions to the teaching of optics and the Gold Medal of the SPIE in 1987. He has taught courses in optical topics all over the world to classes from one or two to over two hundred. He specializes in teaching techniques for understanding and logical thinking that avoid complicated theory without oversimplification 薄 膜 光 学 技 术 徐晓峰 东华大学应用物理系 薄 膜 光 学 技 术 薄 膜 光 学 技 术 参考书 光学薄膜技术，H.A.麦克劳德著，周九林、尹树百译，国防工业出版社1974 应用光学薄膜，唐晋发、郑权著，上海科学技术出版社，1984 玻璃镀膜， H.K.普尔克尔著，仲永安等译，科学出版社，1988 光学薄膜原理，林永昌、卢维强著，国防工业出版社1990 薄膜科学与技术手册，田民波、刘德令，机械工业出版社，1991 OPTICAL THIN FILMS USER HANDBOOK, JAMES D.RANCOUNT 薄 膜 光 学 技 术——基础理论 你所知道的关于薄膜 镀膜镜片 滤光片、反射镜 牛顿环 类金刚石膜 薄 膜 光 学 技 术——前言 前言- 人类生活在周围充满着光的世界里，光是一种人们无时无刻不遇到的自然现象。更为重要的是：光是信息的重要载体，研究光的本性及其传播规律的学科就是光学。 和光打交道，离不开光学薄膜， 薄膜光学是现代光学必不可少的基础技术，它是物理光学的一个重要分支。——专项技术 另一方面，由于光学薄膜的制备过程与真空技术、表面物理、材料科学、等离子体技术等等密切相关，所以光学薄膜又可以称得上是一门——综合学科 近年来，薄膜光学技术随着现代科学技术的发展而迅速发展，特别是计算机技术给薄膜理论分析带来巨大方便。 薄 膜 光 学 技 术——前言 前言 光学薄膜这门学科已成为现代光学不可缺少的一个重要组成部分，没有光学薄膜，许多现代光学装置便无法发挥效能，失去作用，无论在提高或降低反射率、吸收率与透射率方面，在使光束分开或合并方面，或者在分色方面，在使光束偏振或检偏方面，以及在使某光谱带通过或阻滞方面，在调整位相方面等等，光学薄膜均起着至关重要的作用。 总之，薄膜在许多场合都扮演关键脚色。薄膜器件的轻巧灵便、稳定给它带来更广阔的应用 ：窄带滤光片——光栅单色仪 什么是光学薄