7 深加工玻璃之镀膜玻璃 玻璃工艺学 教学课件.pptVIP

深加工玻璃 主 讲：宁海霞 绵 阳 职 业 技 术 学 院 提 纲 玻璃上薄膜的形成 真空阴极磁控溅射法 化学沉积法 真空蒸镀法 凝胶法 化学镀膜法 镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求 一、玻璃上薄膜的形成 1、薄膜干涉的理论和镀膜玻璃的膜层设计 ★ 光的干涉现象 ★ 光程差： 2、太阳能的划分 3、薄膜的形成方法及膜层类型 溅射法、真空蒸镀法、离子镀膜法 化学沉积法、凝胶法、喷涂法 化学镀膜法 二、真空阴极磁控溅射法 1、工作原理 2、特点 ★ 膜厚可控性和重复性好； ★ 膜层与基片的附着力强； ★ 可以制造特殊材料的膜层； ★ 膜层纯度高； ★ 磁控溅射速度高，基片温度低 3、工艺流程 4、品种及性能 （1）按产品的性能分类： ★ 阳光控制玻璃 ★ 低辐射膜玻璃 ★ 玻璃镜 ★ 导电玻璃 ★ 反反射膜玻璃 ★ 低辐射阳光控制膜玻璃 （2）性能： ★ 控光及节能（两个参数：Sc和U） ★ 美学性能（装饰效果） ★ 导电性能 ★ 单向透视或隐形性能 ★ 化学稳定性及耐磨性能 5、生产镀膜玻璃需注意的工艺事项 玻璃需新鲜 镀膜前清洗的质量要高 玻璃在运输及储存中要防止雨淋 清洗后的玻璃不能用裸手触摸 镀膜前的辉光放电的强度和时间要符合工艺要求 反应溅射镀膜要准确的控制好反应气体的用量 溅射电流、电压等工艺参数要稳定 三、化学沉积法 1、原理 利用气相物质通过化学反应在基体表面上形成固态薄膜的一种方法。 2、影响化学沉积法镀膜的因素 ★ 气体物质的浓度 ★ 安装镀膜反应器处的玻璃温度 ★ 反应副产物及未反应物的排出速度 ★ 玻璃拉引速度 四、真空蒸镀法 1、原理 利用真空状态下物质达到饱和蒸气压下降的性质形成蒸气，蒸气质点沉积在玻璃表面上形成一层具有一定粘度的金属膜。 2、工艺流程 五、凝胶法 2、工艺流程 六、化学镀膜法 1、原理 将银氨溶液和醛基或酮基的糖溶液喷洒到洁净的玻璃表面上，利用醛类或酮类有机化合物中醛基的还原性，把银氨溶液中的银还原。 七、镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求 玻璃基片要求采用浮法玻璃中质量等级最高的产品即一级品。 车间环境：无尘埃、通风、无污染源、车间空气相对湿度≤75% * * 2009-7-28 普通硅酸盐工艺学 镀膜玻璃 光线入射到薄膜上，经反射和折射后，经人眼会聚一点，发生干涉现象，光程差等于半波长的偶数倍，人眼看到B处的是亮的，光程差等于半波长的奇数倍时是暗的。 B （k=1、2…） 干涉加强 （k=0、1、2…） 干涉减弱 ★ 膜层设计： 增透膜时，相消干涉来减少反射，即 增反膜时，相长干涉来减少透射，即 λ（um) 0.4 0.7 1.15 紫外光 可见光 短波红外光 长波红外光 氧化物膜及金属膜 金属膜 氧化物膜 在溅射装置中设置磁场以控制电子运动方向，束缚电子运动轨迹，从而提高工作气体的电离几率和有效地利用电子能量，提供大量电子的轰击靶材 的正离子，形成高密度的等离子区，由于正离子轰击靶材而产生溅射，溅射粒子的中性靶原子在基片上沉积成膜，而其中的二次电子进入等离子区参与电离子碰撞，不断地补充大量的正离子，二次电子在其能量耗尽时，被阴极吸引而导出真空室。 溅射原理图 玻璃原板 人工检验 装片 洗涤干燥 人工检验 抽真空 入口等待 缓冲室 溅射Ⅰ 溅射Ⅱ 溅射Ⅲ 直流电源 反应气体 工作气体 出口室 缓冲室Ⅱ 出口洗涤干燥 输送 成品检验 抽真空 高透型LOW-E 遮阳型LOW-E 双银LOW-E 本方法只适用于生产阳光控制玻璃 检验 基 片 洗涤干燥 装片 镀膜 出片 检验 卸片 检 验 热反射玻璃成品 包装入库 刷底漆 干燥 刷面漆 干燥 检验 铝镜成品 包装入库 1、原理 采用元素周期表中Ⅳ类、Ⅲ类和Ⅴ类中某些元素合成烃氧化基化合物并利用某些有机盐类作为镀膜物质，将这些烃氧化基化合物及无机盐溶于某种溶剂配制成醇盐溶液，然后将干净的玻璃基片浸渍在此种溶液中，浸渍一段时间后徐徐提起，粘附于玻璃基片上的醇盐溶液在空气中水解，再经加热缩聚，最后在玻璃基片表面结成氧化物膜。 加热 检 验 基片 洗 涤干燥 装片 浸镀 提升 输送 烘干 冷却 卸片 检验 铝镜成品 包装入库 金属醇盐溶液 2、工艺流程 一次镀银 检 验 基片 洗 涤干燥 装片 抛光 刷洗 冲洗 敏化 二次镀银 镀铜 清洗 干燥 预热 一次涂漆 二次涂漆 烘干 冷却 清洗镜面 双面清洗 干燥 输送 卸片 检验 *