利用激光衍射测量细丝直径的研究.pdfVIP

现代制造技术与装备 2006 3 172 年第 期 总第 期 利用激光衍射测量细丝直径的研究 张立宝 孙 颖 杨 杰 沈精虎 张凤生 （青岛大学机电工程学院，青岛266071） 摘 要：本文利用激光衍射的方法对细丝直径进行测量。该系统中CCD视频信号被逐位进行模数转 变，变为相应的数字量。利用最小二乘法对图样进行局部曲线拟合，确定暗纹间距S。因而，衍射测径的精 度不再受CCD像元中心距大小的限制。 关键词：激光衍射测量 CCD（电荷耦合器件）最小二乘法 LaserDiffractionMeasuringSystemforFineDiameter ZHANGLibao，SUNYing，YANGJie，SHENJinghu，ZHANGFengsheng （CollegeofMechanicalElectronicEngineering,QingdaoUniversity,Qingdao266071） Abstract:Usinglaserdiffractiontomeasurethefinediameter.Inthesystem,thevideo-signalofCCDiscon- vertedbit-by-biteintodigitaldata,andtheleastsquaremethodisusedtofitthelocalcurveofthediffractionpat- ternsothatthespaceSofthetwoadjacentdarkstripesofthediffractionpatterncanbedeterminedmoreaccurately. Consequently,themeasuringaccuracywillnolongerberestrainedbythecenter-to-centerdistanceofthepicture elements. Keywords:Laserdiffractionmeasurement,CCD(ChargeCoupledDevice),Leastsquaremethod 引 言 对于尺寸很小（10～500um）的各种细丝、狭缝、 微小位移、微小孔等的测量，直接采用几何光学放大 成像法或接触式测量仪器已无法满足高精度的测量 要求。原因：（1）若采用光学放大成像法，由于被测尺 寸很小，光的衍射效应加剧，导致测量误差增大。（2） 若采用各种接触式测量法，由于接触应力将使得被 图1衍射测量系统构成简图 测件产生变形，从而产生较大的测量误差。本项研究 d=Kλf/X=λf/S （2） K 旨在解决此类微小尺寸的非接触、高精度的动态测 —被测细丝 上式为衍射测量基本公式。式中d—— 量问题。 直径；K———衍射图样的暗纹级数；λ———单色光波 1衍射测径原理 长；f———为成像物镜焦距；θ———衍射角，即被测细 测量系统构成如图1所示。单色平行光垂直照 丝到第K级暗纹的连线和光线主轴的交角；X——— K 射被测细丝。经细丝衍射后，在成像物镜的焦平面上 第K级暗纹到光轴的距离；S———暗纹间距，S=X/K，