应用技术篇-光学计量技术 光信息存储技术电子教案.pptVIP

应用技术篇1：光学计量技术 ----9.1全息干涉计量 第9.1节 全息干涉计量术 * * 光学计量技术 概述 普通干涉法 缺点 测量精度有限， 系统误差大， 最高达 几十 ? m 分振幅法 迈克尔孙干涉仪 法布里泊罗干涉仪 分波阵面法 双棱镜干涉 双缝干涉 ? 用时间分割法获得相干光 ? 对系统本身的依赖性小，系统误差小 ? 测量精度高，达波长量级，几百 n m ? 精度提高2个数量级 全息干涉法 全息干涉计量术 *** 全息干涉计量术 关于莫尔现象 ? 两套空间频率很接近的条纹结构叠合在一起，可以产生一套新生的条纹，这种现象称为莫尔现象 ? 两套条纹频率相近，方位角相同时 ? 莫尔条纹的结构遵循一定规律 ? 产生莫尔现象的条件 ? 两套条纹频率相同，方位角不同时 ? 两套条纹形状略有差异时 全息干涉计量术 全息干涉计量术主要包括： ? 二次曝光法 ? 一次曝光法 ? 时间平均法 方法不同 用途各异 全息干涉计量术 ? 二次曝光法 在同一张全息干板上曝光两次，拍摄