微量铝掺杂TiN超薄膜提昇铜之扩散阻障机制研究.PDF

行 量 精 類 行 年年 行 立料 參理 李 劉 龍 璉李 理 年 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ 微量鋁摻雜 TiN 超薄膜提升銅之擴散阻礙機制研究 ※ ※ ※ ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ ※ 計畫類別： ■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 94 －2216 －E －150－002 － 執行期間：94 年 8月 1日至 95 年 7月 31日 計畫主持人：許振聲 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告ㄧ份 □赴大陸地區出差或研習心得報告ㄧ份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國研究報告書ㄧ份 執行單位：國立虎尾科技大學材料科學與工程系 中 華 民 國 95 年 10 月 31 日 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 微量鋁摻雜 TiN超薄膜提升銅之擴散阻礙機制研究 Mechanism of enhancing TiN ultrathin films against copper diffusion by minor Al doping 計畫編號： NSC 94 －2216 －E －150－002 － 執行期限： 94 年 8月 1日至 95 年 7月 31日 主持人：許振聲 國立虎尾科技大學材料科學與工程系 ㄧ、中文摘要 Abstract 本 研 究 利 用 反 應 性 共 生 濺 鍍 This work employs grazing-incidence （Co-sputtering ）的方式，在不同的N /Ar 分 2 X-ray diffraction (GIXRD), transmission 壓混合比例下，沉積 TiN 以及Ti Al N 薄膜於