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微运动工件的高性能图像测量方法研究 1、项目研究意义 机器视觉图像测量是数字图像技术和测量技术相结合的产物，广泛用于制造业。由于计算机的智能化和高速数据处理能力使得对一些复杂零件的高精度快速测量成为可能。机器视觉检测为非接触测量，对工件装夹精度要求低，特别适用于现代制造的在线测量和在线自动质量检测。但这项技术仍有以下缺点： （1）环境条件和系统参数变化很容易影响测量结果，测量可靠性受到影响；（2）系统测量结果与摄像机、图像采集系统、照明光源、镜头和图像分割技术等均有密切的关系，因此对系统性能评价比较困难，长期以来多采用高成本、耗时长、离线的方法来进行[1]；（3）对于较大尺寸的物体，检测精度较低。 本项目设想对上述问题进行改善，使机器视觉图像测量的应用范围得到进一步的扩大。利用近年来发展成熟的微位移技术，被测量物体放在电致伸缩陶瓷驱动的微运动平台上，测量过程中将被测量目标微运动起来，视觉系统同步多次测量。通过对多次测量结果的实时计算分析，提高测量精度。通过比较给定微位移量和微移动后测量结果的变化情况，对系统性能实现自动诊断，提高系统可靠性。 我省是一个制造业大省，生产企业的在线测量水平直接影响到产品的质量。 机器视觉测量由于其自身的优点，广泛用于制造业，这项技术的发展将对产品质量的提高有重要的意义。受我省诸多企业的委托，我们已经完成十多项针对不同对象的机器视觉测量系统开发，为生产加工企业解决了实际问题，提高了生产效率。我们曾经多次遇到企业委托项目，要求测量速度快，而且参数多、精度高，机器视觉测量如果能够解决精度、可靠性等问题就是最佳方法，在工业测量中将有很好的应用前景。 2、项目研究目标及与申请者研究工作长期目标的关系 项目研究目标：将机器视觉测量技术与近年来日益成熟的微位移技术结合起来，测量过程中在计算机控制下利用电致伸缩器件主动精密微运动被测量目标，机器视觉系统同步多次测量，对多次测量结果实时分析，直接得到系统分辨率指标，提高系统测量精度；通过比较给定微位移量和微移动后测量结果的变化情况，实现系统性能在线快速的自动评价和校准，提高测量系统可靠性。 我们从事机器视觉测量研究工作已有十多年时间，将机器视觉测量技术推向成熟和完善，扩大其应用范围，是我们长期工作目标。近两年来进行了微位移和纳米测量领域的研究，设想将电致伸缩微位移技术用于机器视觉测量。机器视觉测量中，对系统性能进行直观、快速和有效的评价，在线自诊断、自校正，保证系统可靠性，提高测量精度，都是难以解决的基础问题，希望能得到浙江省自然科学基金的资助。 3、 项目研究内容，研究方案和进度安排 研究一种新的视觉测量方法。被测量在测量过程中系统控制产生精确微位移，时多次重复测量 微位移技术近年来日益成熟，其中电致伸缩陶瓷微位移驱动器以其体积小、承载力大、效率高、位移分辨率高、对磁场不敏感、不产生噪声等优良特性，已经在扫描隧道显微镜微量、超精加工进给、微电子工程和机器人装配的超微定位中得到了应用，是一种理想的微位移驱动器。但是电致伸缩陶瓷驱动器在电场的作用下存在滞后、蠕变、非线性等不良特性，使其精度和重复性降低、输入电压与输出位移之间存在着较大的非线性和迟滞性。因此，为了提高压电陶瓷的灵敏度、稳定性和重复精度，在电致伸缩陶瓷驱动器的控制中采用精度高、响应快的微位移检测电感传感器对微驱动器的实际输出位移进行检测并反馈给控制器进行闭环控制。这种方案可以达到纳米级的精度，这里为了提高微位移的精度，达到进行系统校准的目的，使用高精度电感位移传感器测量位移量，经二次仪表的数字接口将读数送入计算机，由计算机反馈控制。这里可以很容易的实现X、Y方向的微运动，最大微位移，对于考核机器视觉测量系统的分辨率已经足够。 这里在微小移动范围内以电感（或电容）位移传感器作为高一级精度测量设备对机器视觉图像测量系统进行校准，充分发挥机器视觉图像测量系统对复杂工件和在多参数测量时的优点，组成高性能的复杂几何参数测量系统。 主要研究内容为： 研究计算模型效果移动量和测量结果同时得到，直接估算测量分辨率，研究在测量时对系统性能自动评价的方法。 项目创新之处 近十多年来机器视觉测量技术发展迅速，高分辨率的摄像机和图像卡不断出现，特别是最近几年出现的高分辨率数字摄像机，使这种方法的测量分辨率不断提高。为了进一步提高系统精度，人们对图像测量的软件算法十分重视，亚像素边缘定位的方法得到了深入研究，主要的方法有：插值法、空间矩法、最小二乘法等。人们对这些方法进行了大量的理论和实验研究，利用计算机图形学方法生成理想边缘图像，验证亚像素边缘定位算法的定位精度和抗噪能力[4] [5]。 但是如果仅仅利用摄像机的分辨率和亚像素定位精度去计算系统精度是远远不够的。影响系统精度的因素主要有：（1）照明光源；（2）光学成像系统；（