蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展 Survey on the Progress of Ultra-smooth Sapphire Wafer Surface.pdfVIP

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2018-01-29 发布于上海
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蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展 Survey on the Progress of Ultra-smooth Sapphire Wafer Surface.pdf

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蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展 Survey on the Progress of Ultra-smooth Sapphire Wafer Surface

2009年6月航空精密制造技术 Jun．2009 第45卷第3期 AVIAT10NPREcfsloNMANUFACTURlNGTEcHNo!，oGY V01．45No．3 蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展+ 周兆忠112，袁巨龙2。文东辉2 (1．浙江工业大学浙西分校衢州，324000；2．浙江工业大学超精密加工研究中心杭州，310014) 【摘要】回顾了(0001)面蓝宝石衬底在LED的重要作用及其磨粒加工方法的发展进程。归纳了磨粒加工在蓝宝石衬底的超光滑制备过程中的应用现状，分别对磨削、机械抛光、干式机械化学抛光、湿式机械化学和化学机械抛光在蓝宝石衬底中的应用进行了总结和分析．对比了不同方法对蓝宝石衬底的加工损伤特性和优缺点。【关键词】蓝宝石衬底；超光滑表面；固态照明；发光二极体【中图分类号】TG74 【文献标识码】A onthe ofUltra-smoothWaferSurface Survey Progress Sapphire ZHOU Zhao—zhong，YUANJu-long，WENDong-hui Branchof of 324000 (1．West ZhejiangUniversityTechnology．Quzhou 2．Precision of 310014) EngineeringLaboratory，ZhejiangUniversityTechnology，Hangzhou reviewthe and of waferforblueLED．The statusof [Abstract】This paper status，technologyprogresssapphire applicationssapphire waferinultra—smoothwere on wafer processpresented．The applicationssapphire bygrinding,mechanicalpolishing，dry mechanochemicalmechanochemiealandchemicalmechanical were on polishing，wet polishing polishing anddefectsof waferdifferentmethodsweremade． damagecharacteristics．strongpointsmachiningsapphireby state wafer；,ultra-smooth diode 【Keywords】sapphire surface；solidlighting；lightemitting 前言 LED共消耗了500万2”的衬底．全球市场销售额达到70亿美金。如图1所示，SiC衬底的比例小于美国能源部预测至2030年电力能源的消耗每年将保持1．5％的增长fl】。世界各国和Nichia、Cree等衬底占2／3，3”衬底占l／3pi。公司投入大量资金．极大地加速了LED的进程，超光滑表面在光学、尖端武器、电子产品的成功 2003年LED的发光效率仅在301IIl，W