变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测-光学精密工程.pdfVIP

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2018-01-31 发布于天津
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变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测-光学精密工程.pdf

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第卷第期光学精密工程年月文章编号变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测卢启鹏马磊彭忠琦中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春中国科学院研究生院北京摘要针对上海光源软射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试提出了一种实用有效的检测方法采用自制的多角棱镜结合高精度光电自准直仪进行现场测试首先介绍了单色器波长扫描原理给出角度与波长的关系接着理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系最后介绍了该方法的检测原理装置及检测步骤利用

第卷第期光学精密工程１８７　Ｖｏｌ．１８Ｎｏ．７　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅ