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目 录
中文摘要 1
英文摘要. 2
1 绪论 3
1.1 课题研究的目的和意义 3
1.2 国内外研究概况 3
1.3 论文的主要研究内容 4
2 系统设计方案 4
2.1 系统设计原理框图 4
2.2 单片机原理 5
2.2.1 单片机原理概述 5
2.2.3 AT89C51简介 6
3 系统硬件设计 8
3.1 系统整图 8
3.2 电离真空计 9
3.2.1 电离真空计概述 9
3.2.2 热阴极电离真空计的工作原理 9
3.3 电离规信号采集放大电路 11
3.4 A/D转换 13
3.4.1 ADC0809内部逻辑结构 13
3.4.2 ADC0809外部引脚 14
3.4.3 ADC0809转换原理 16
3.4.4 A/D转换电路设计 16
3.5 单片机最小系统 17
3.5.1 时钟电路 18
3.5.2 复位电路 19
3.5.3 状态指示电路 19
3.6 驱动电路 20
3.6.1 步进电机介绍 20
3.6.2 步进电机驱动系统简介 21
3.6.3 步进电机功率驱动电路 22
4 系统软件设计 24
4.1 系统开发软硬件环境 24
4.2 Keil软件介绍 24
4.3 程序设计 25
4.3.1 主程序框图 25
4.3.2 子程序框图 27
4.4 程序代码 28
5 仿真与调试 28
5.1 Proteus软件介绍 28
5.2 Proteus和Keil调试仿真 29
结论 33
谢辞 33
参考文献 34
附录1 系统电路图 35
附录2 程序代码 37
真空室真空度保持稳定的控制系统设计
摘要：真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。但是真空镀膜的时间一般都很长，有的长达几十个小时，真空室真空度的稳定性对膜的生长，成膜质量的好坏有很大的影响。因此，如何保持真空度的稳定，也成为了一个关键性的技术问题。本文简要的介绍了利用单片机实现真空度稳定控制的工作原理，阐述了软、硬件的具体实现方法。该设计主要通过真空计信号采集放大电路，获得与真空室内真空度相对应的模拟电压值,并经过A/D转换器转换为数字量送入单片机，单片机处理后给出相应步进电机正反转信号，带动调节阀转动，改变真空泵抽气量的大小，从而达到稳定真空度的目的。
关键词：真空镀膜技术；真空度稳定；单片机；A/D转换器；步进电机
Abstract：Physical and chemical methods are applied in vacuum coating technology coating solid surface with a layer of special properties of the coating to improve product quality, extend product life, save energy and achieve significant technical and economic benefits. However, the time of vacuum coating is generally very long and some up to tens of hours. The stability of vacuum of the vacuum chamber has a great effect on film growth and film quality. Therefore, how to maintain the stability of vacuum has also become a key technical problem. This paper briefly introduces the operation principle to control vacuum stability with the single chip microcomputer and the detail method of the hardware and software. This design is primarily to obtain the analog voltage value corresponding to the vacuum in vacuum chamber through signal amplification circuit, and transmit digital quantity, which is concerted by A/D converter, into the single chip microcomputer. The corresp
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