基准圆光栅偏心检测及测角误差补偿-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 棽棸 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋 暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋 暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 棻棻 暋 暋 暋 斘旓旜棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棻棻灢棽棿椃椆灢棸椂 基准圆光栅偏心检测及测角误差补偿 灣 棳 棳 棳 棳 艾晨光 褚 明 孙汉旭 张延恒 叶 平 暋 暋 棬 棳 棭 北京邮电大学 自动化学院 北京 棻棸棸椄椃椂 椇 棳 摘要 为了修正关节测试平台中由圆光栅安装偏心所产生的测量误差 建立了圆光栅偏心测角误差补偿模型并对安装偏 暎 棳 棳 暎 棳 心检测方法进行研究 首先 根据圆光栅测角与偏心参数间的几何关系 推导出圆光栅测量误差补偿模型 然后 描述 棳 椈 棳 了采用双读数头对比接收正弦信号间相位差 检测偏心参数的方法和原理 通过合成信号的李萨茹图形 检测出关节测 暎 棳 暎 试平台内圆光栅的偏心距及偏心方向 最后 根据所推导的偏心测角误差补偿公式对测试系统进行修正 对比实验结 椇 棳 棳 暎 果表明 修正后的圆光栅测角精度大幅提高 测量精度提高了近 倍 满足关节测试平台的测量精度要求 椀 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 角度测量 圆光栅 系统误差补偿 偏心距检测 偏心方向检测 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斅椆棽棽 斚棿棾椂灡棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棽棽棸棻棻棶棽棿椃椆 斉斻斻斿旑旚旘旈斻旚斿旙旚旈旑 旓旀斺斿旑斻旇旐斸旘旊斻旈旘斻旛旍斸旘旘斸旚旈旑 斸旑斾 旂 旂 旂 斻旓旐 斿旑旙斸旚旈旓旑旓旀斸旑旛旍斸旘斿旘旘旓旘 旔 旂 灣 棳 棳 棳 棳 斄斏斆旇斿旑灢旛斸旑 斆斎斦斖旈旑 斢斦斘斎斸旑灢旞旛 斱斎斄斘斍斮斸旑灢旇斿旑 斮斉斝旈旑 旂 旂 旂 旂 旂 棬 棳