中国地质大学材料研究方法第三章.pptVIP

第四章 扫描探针显微分析技术 第四章 扫描探针显微分析技术 1. SPM的基本原理及特点 2. 扫描隧道显微镜（STM） 3. 原子力显微技术 4. 磁力显微技术 5. 扫描探针显微镜的应用 2. 扫描隧道显微镜（STM） STM是所有扫描探针显微镜的祖先 1981年由Gerd Binnig和Heinrich Rohrer在苏伊士IBM实验室发明的。 STM是第一种能够在实空间获得表面原子结构图像的仪器。 在经典力学中，当势垒的高度比粒子的能量大时，粒子是无法越过势垒的。 量子力学中，粒子穿过势垒出现在势垒另一侧的几率并不为零，这种现象称为隧道效应。 隧道效应是微观粒子(如电子、质子和中子)波动性的一种表现。 2. STM工作原理 隧道电流的产生 在样品与探针之间加上小的探测电压，调节样品与探针间距控制系统，使针尖靠近样品表面，当针尖原子与样品表面原子距离≤10?时，由于隧道效应，探针和样品表面之间产生电子隧穿，在样品的表面针尖之间有一纳安级电流通过。电流强度对探针和样品表面间的距离非常敏感，距离变化1 ?，电流就变化一个数量级左右。 STM两种扫描模式 恒定高度模式－检测隧道电流变化 恒定电流模式－检测高度变化 两种模式各有利弊。恒高模式扫描速率较高，因为控制系统不必上下移动扫描器，但这种模式仅适用于相对平滑的表面。恒电流模式可以较高的精度测量不规则表面，但比较耗时。