基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制.pdfVIP

第5期 微细加工技术 №．5 2008年lO月 MICROFABRICATIONTECHNOLOGY 0ct．。2008 文章编号：1003．8213(2008)05．0035．02 基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制 白英良1，一，段辉高3，韩立1 (1．中国科学院电工研究所，北京100190；2．中国科学院研究牛院，北京100093； 3，兰州大学电子材料研究所，兰州730170) 摘要：首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁，然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的 透气性能制作了过渡模版，通过二次复制的图形转移技术，制作了聚合物微悬臂梁。测试表明，所制作的聚合物悬 臂梁基本满足悬臂梁工作的要求。利用该微模塑复制技术制备聚合物微悬臂梁的方法工艺简单、成本低、可批量生 产，同时避免了刚性脱模带来的难题。根据实验，还给出了中温注射、低温固化、高温后固化的最佳工艺方法。 关键词：微悬臂梁；微模塑；聚合物；PDMS；固化 中图分类号：TN3 文献标识码：A 臂梁包埋在石蜡中，用砂纸进行机械减薄到90 ttm，即得到实 1引言 验所需的悬臂梁厚度。 目前，微悬臂梁一般采用传统的硅微机械加丁工艺制作， 其过程包括光刻和反应离子刻蚀等，这些均会导致悬臂梁传 感器造价过高。而聚合物悬臂梁由于具有弹性模量较低、具 有生物相容件的特点L1。4‘，因此受到研究人员的广泛注意。 但是，利用光刻胶制作聚合物悬臂梁，一方面材料的可选择性 少，另一方面需要繁琐的光刻步骤[5J。本文采用微模塑复制 技术并利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的透气性能制作r微悬 图1悬臂梁和基座模塑复制过程 臂梁，制作工艺相对简单，且易于操控。结果表明，该方法制 作的树脂微悬臂梁基本满足SPM对谐振频率的测试要求。 2聚合物基座和悬臂梁的制作方法 2．1=次复制的概念 用于微复制的母版必须在可以用微机械加T的材料上制 作，本研究采用电火花技术机械加工出金属基座和悬臂梁的 整体。无论热压技术还足注甥上艺都需要两块模版同时成 型，由于成型聚合物基底为薄片状，从而导致聚合物无法和坚 图2电火花加工出来的不锈钢悬臂梁 硬的金属模具脱模，因此采用金属模具直接复制聚合物悬臂 梁存在阑难。考虑采用柔性材料作为过渡模具，如图1所示。 2．3 PDMS模版的制作——柔性模具 该技术首先把PDMS硅胶浇注在用微机械方法制作的金属 过渡模版是用米直接模塑成型的树脂基片，这就要求它 模具的母版上，固化脱模后成为正面过渡模版，再以其作为正 具有图形完整、保真件好、模版固化均匀、厚度一致、脱模容 面过渡模版与反面过渡模版装备成模具，把环氧树脂浇注在 易、弹性同复性能好等特点，PDMS完伞符合本试验的要求。 过渡模具上，同化后脱模后便成为最终的微器件。 184)预聚体和固化剂按照10：l的 将PDMS(道康宁sylgard 2．2金属基座和悬臂梁母版的制作 质量比混合，真空脱气后浇注在如网3所示的模具上，浇注时 本实验采用数控电火花线切割机成功地制作出所需要的 注意掌握PDlljIS浇注的厚度，以确保形成图l中第2步的正 母版，如图2所示。得到的悬臂梁厚度约为200,am，再将悬面图形，在80℃下固化2 h时后，取下挡圈和有机玻璃板，把 收稿日期：2008—06．10；修订日期：2008．07—10