第一章电镜结构演示课件讲稿.pptVIP

能量为E的 电子轨迹 象1 透镜 物 P 光轴 图1-5（c） 色差 能量为E- E的 电子轨迹 象2 在电磁透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过一些方法消除 PAY ATTENTION 4）理论分辨距离 光学显微镜的分辨本领基本上决定于象差和衍射，而象差基本上 可以消除到忽略不计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射。 电磁透镜中，不能用大的孔径角，若这样做，球差和象散就 会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领， 但不能过小。 显微镜的分辨极限是 电镜情况下， ， 因此 可见，光阑尺寸过小，会使分辨本领变坏，这就是说，光阑的最 佳尺寸应该是使衍射效应埃利斑和球差散焦斑尺寸相等。 相对应的最佳光阑直径 式中的f 为透镜的焦距。将 代入 可得 目前，通用的较精确的理论分辨公式和最佳孔径角公式为 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜 提高了一千倍左右。 目前，透射电镜的最佳分辨率可达0.1nm数量级。 1.5 电磁透镜的场深和焦深 电磁透镜分辨本领大，场深（景深）大，焦深长。 场深是指在保持象清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离，或者说试样超越物平面所允许的厚度。 焦深是指在保持象清晰的前提下，象平面沿镜轴可移动的距离，或者说观察屏或照相底版沿镜轴所允许的移动距离。 电磁透镜所以有这种特点，是由于所用的孔径角非常小的缘故。这种特点在电磁显微镜的应用和结构设计上具有重大意义。 场深（景深） 任何样品都有一定的厚度。从原理上讲，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面相重合，能在透镜像平面获得该层平面的理想图像。而偏离理想物平面的物点都存在一朵经程度的失焦，它们在透镜像平面上将产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。如果失焦圆斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜分辨率并不会产生什么影响。因此我们把透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深，用Df表示。 场深的关系可以从图1-6推导出来。在 的条件下，场深 这表明，电磁透镜孔径半角越小，景深越大。一般的电磁透镜 ＝10-2~10-3rad， ＝（200～2000）Δr0. 如果透镜分辨率Δr0＝1nm，则Df=200~2000nm.对于加速电压100kV的电子透镜来说，样品厚度一般控制在200nm左右，在景深范围之内，因此样品各部位的细节都能得到清晰的像。电磁透镜景深大，对于图像的聚焦操作（尤其在高放大倍数情况下）是非常有利的。 α 2M·r0 α R L2 L1 Qi 2Δr0 Q Df 透镜 象平面 图1-6 场深示意图 物平面 图1-7是焦深的示意图。由图可以看出， 由于 ，即 所以 这里的M是总放大倍数。可见，焦深是很大的。例如分辨率Δr0＝1nm ，孔径半角＝10-2rad，放大倍数M＝200倍，计算得焦长＝8mm。这表明该透镜实际像平面在理想像平面上或下各4mm范围内移动时不需要改变透镜聚焦状态，图像仍保持清晰。因此，当用倾斜观察屏观察象时，以及当照相底片不位于观察屏同一象平面时，所拍照的象依然是清晰的。 屏 透镜 α L1 L2 DL 2Δr0 ·M 图1-7 焦深示意图 β 1.6 电镜的主要结构 目前，风行于世界的大型电镜，分辨本领为2~3 埃，电压为 100～500kV，放大倍数50~1200000倍。由于材料研究强调综合分析，电镜逐渐增加了一些其它专门仪器附件，如扫描电镜、扫描透射电镜、X射线能谱仪、电子能损分析等有关附件，使其成为微观形貌观察、晶体结构分析和成分分析的综合性仪器，即分析电镜。它们能同时提供试样的有关附加信息。 高分辨电镜的设计分为两类：一是为生物工作者设计的，具有最佳分辨本领而没有附件；二是为材料科学工作者设计的，有附件而损失一些分辨能力。另外，也有些设计，在高分辨时采取短焦距，低分辨时采取长焦距。 我们这里先看一看一些电镜的外观图片，再就电镜共同的结构原理和日趋普及的分析电镜的有关部分做一介绍。 ??? 日本日立公司H－700 电子显微镜，配有双倾台