飞秒激光在硅表面微加工的研究演示课件.pptVIP

Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 线结构：各种参数优化后的结果 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 复杂图形 行列间距变化，其他参数固定： 300μm x 300μm 120μm x 120μm Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory Ripples特点（1） 两种波纹： 1、方向接近垂直 2、环形区域波纹宽度比内部波纹宽度要窄 环形区域波纹： ≈0.71μm 中部区域波纹： ≈1.5μm 飞秒激光在Si(100) 表面烧蚀 激光能流密度 0.33J/cm2 脉冲数 N=100 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory Ripples特点（2） 利用FIB观察条纹截面，波纹平均深度 ≈1μm Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory Ripples 形成原因 形成原因： 1. 激光辐照在材料缺陷或尘埃粒子上的散射光与入射激光是相干的,彼此干涉后,受到调制的光辐照在材料表面上形成干涉图案。在材料的光滑表面上,可以观察到等间距的平行条纹。 材料特性，材料熔融冷却后再固化 当脉冲激光对硅材料的辐照强度远远高于熔化阈值时,就会发生均匀的熔化,而熔化温度的横向变化所产生的力,将波纹固定在硅材料表面上。液体的表面张力随着温度的升高而减小,而且液体有从较热的区域向较冷的区域扩张的趋势。因此,脉冲激光辐照硅材料表面产生凸凹状形变波纹. Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory Ripples 形成过程 相同能量，不同脉冲数 N=1 N=5 N=10 N=50 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory Ripples 形成条件 形成条件： 1. 多脉冲照射 2. 激光能量：在硅烧蚀阈值附近 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 影响Ripples 走向的因素 波纹走向与入射光束的偏振态有关 ，实验证实与晶向无关 无波片 ? 波片 450 无波片 ? 波片 450 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory * 飞秒激光在硅表面微加工的研究 报告人： 耿娜 指导老师： 傅星 教授 Email：gengna1004@126.com State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 研究背景 实验系统 实验结果及分析 主要内容 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 长脉冲激光与短脉冲激光的比较 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 研究背景 1飞秒=10-15秒 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 长脉冲激光与短脉冲激光的比较长脉冲激光加工 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 长脉冲激光与短脉冲激光的比较短脉冲激光加工 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 飞秒激光的典型应用 去除物质，对加工对象进行精细雕刻，在微机械领域有重要应用 飞秒激光在金属上加工六角形网格 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 飞秒激光的典型应用 利用飞秒激光使聚合物变形，加工成各种微型器件 飞秒激光逐点扫描法在聚合材料内部加工出的纳米牛 体长只有10微米，高7微米 Micro-Nano Fabricating Measurement Laboratory 飞秒激光的典型应用 利用飞秒激光对加工对象进行局部改性，它在光通信领域的光波导、光分束器、光耦合器、微型光栅和光开关等微光学领域中具有广泛应用前景 飞秒激光加工的光波导 Micro-Nano Fabricating Mea