气体质量流量计氢气氦气对应CMS系列使用说明书.PDFVIP

No. CP-UM-5207C TM 氣體質量流量計 氫氣、氦氣對應 CMS系列 使用說明書 非常感謝您購買本公司氣體質量流量計 氫氣、氦氣對應CMS系列。本使用說明 書中記載了安全、正確使用CMS系列的 必要事項。 對於承擔使用CMS系列的操作盤、裝置 的設計、維護的工作人員請務必在閱讀 理解本書的基礎上使用。 此外，本使用說明書不只在安裝時,在 維護和故障維修時也是必不可少的。請 常備此手册以供參考。 使用上的限制 本産品是在一般設備上使用前提下開發、設計和製造的。 在有下列安全性要求的場合應用時，請在失效安全設計，冗餘設計及定 期維護檢查以及對系統和設備整體等考慮周全的情况下使用。 • 以人體保護爲目的的安全裝置 • 輸送設備的直接控制(運行停止等) • 航空設備 • 宇宙航天設備 • 原子能設備等 請勿把本産品使用在與人身安全直接相關的用途上。 要求 請確保把本使用說明書送到本産品使用者手中。 禁止擅自複印和轉載全部或部分本使用說明書的內容。 今後內容變更時恕不事先通知。 本使用說明書的內容，經過仔細審查校對，萬一有錯誤或遺漏，請向本 公司提出。 對客戶應用結果，本公司有不能承擔責任的場合，敬請諒解 ©2000 Yamatake Corporation ALL RIGHTS RESERVED TM TM TM μF 、MicroFlow 、MicroFlow sensor 是山武公司的注册商標。 安全注意事項 ■ 圖示說明 此安全注意事項的目的：爲了正確安全使用本産品，防患于未然以免給您及他人造 成人身損害及財産損失，請務必遵守本安全注意事項。本書中使用了各種圖形符 號。 其顯示的含義見下所示，請認真理解所述內容。 當錯誤使用本產品時，可能會造成使用者死亡或重傷的危險情況。 警告 當錯誤使用本產品時，可能會造成使用者輕傷或財物損失的危險 注意 情況。 ■ 圖示例