换源作业指导书.docVIP

文号： 版别： 文件名称 扩散间换源作业指导书 页次：1 / 7 目的 范围 定义 无 职责 4.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。 4.2在操作过程中遇到问题应及时向人员反，人员及时提供帮助。 4.3在整个换源操作过程中需有质量部IPQC(巡检)全程监督确认。作业内容 5.1操作前准备工作： 5.1.2 确认工艺运行结束，扩散氮或清洗氮流量为零， 文号： 版别： 文件名称 扩散间换源作业指导书 页次： / 7 5.1.3 穿戴好防护用品，并确认有效性， 文号： 版别： 文件名称 扩散间换源作业指导书 页次：/ 7 5.2 换源作业流程 5.2.1 打开气路柜防护门 5.1.5 关闭源瓶阀门：左手扶住源瓶，右手转动阀门螺母，先关进气管阀门，后关出气管阀门，动作轻而稳； 5.1.6 拔下软管：左手扶住出气管，右手拧松螺母，将出气软管拔下，然后按照以上手法将进气软管拔下，动作轻而稳； 文号： 版别： 文件名称 扩散间换源作业指导书 页次：/7 5.1.7 将源瓶从恒温箱中取出：右手握住源瓶出气管向上提起左手托住源瓶底部； 5.1.8 将源瓶运输至空源瓶存放柜中； 5.1.9 从源瓶柜中取一满源瓶放置源瓶观察柜中，检查源瓶阀门的密封性，瓶身是否有隐裂，螺母松脱、残夜，源液是否有杂质，工序长、巡检确认； 文号： 版别： 文件名称 扩散间换源作业指导书 页次：/ 7 5.1.10 源瓶放压，左手扶住源瓶，右手拧开阀门，先开出气阀门后开进气阀门，然后将阀门关闭； 5.1.11 双手拿取源瓶，运输至设备处，放入恒温箱内； 5.1.12 接气路软管，先接出气,后接进气； 文号： 版别： 文件名称 扩散间换源作业指导书 页次：/ 7 检查气路软管连接是否正常，工序长、巡检确认； 5.1.14 左手稳住源瓶，右手开启阀门，先开出气管后开进气管； 5.1.15 鼓泡实验，双手提起源瓶，操作员手动打开扩散小N2流量500,观 察是否鼓泡，然后加大源量1000，三氯乙烷鼓泡：氧气流量5000，小氮流量500；确认源瓶中有气泡冒出，管路接口无异常，无源液回流，工序长、巡检共同确认； 将源瓶放入恒温箱，关闭设备气路防护门； 取下外层手套，扔进危险废弃物垃圾桶，脱掉防护服和防毒面具，并挂到指定地点； 5.1.16 取下内层手套并扔进危险废弃物垃圾桶； 5.1.17 做好源瓶使用记录，巡检签字； 5.2 安全及注意事项: 5.2.1 在作业时应该佩戴防毒面具。 检查源瓶是否合格（阀门松动，阀门是否通畅液体是否变色浑浊是否有裂痕）先打开出气阀门，再打开进气阀门观察气泡进气检漏，如有鼓泡现象则进行正常生产，如果没有鼓泡现象则按以上步骤重新更换。 文号： 版别： 文件名称 扩散间换源作业指导书 页次：/ 7 6.参考文件: 无 7.附件：无 修订部门 编 制 审 核 批 准 防护服 防毒面具 源量在2厘米以下 工艺结束，流量清零 双层乳胶手套