长度测量技术形位误差测量幻灯片.pptVIP

1 31 第五章 长度测量技术 第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术 第七节 纳米测量技术 32 一、线位移测量 1、接触式线位移测量： (1) 电感位移传感器： 自感式传感器： 原理：位移 → 线圈电感变化 特点：可靠，非线性严重 范围：测量微位移（1mm） 互感式传感器（差动变压器）： 原理：位移 → 两线圈互感变化 特点：非线性小 范围：测量大范围位移（100mm） 33 (2) 光栅式位移传感器 工作原理：叠合在一起形成一个小角度， 移动时，形成明暗相间的条纹－－莫尔条纹 定义：光栅是在玻璃基体上刻有均匀分布条纹的光学元件。 构成：主光栅（标尺光栅）、指示光栅、光路系统、光电元件。 特点： 莫尔条纹宽度： W=a+b：W-栅距， a-线宽，b-缝宽 精度高：光栅刻线误差的平均效应 范围大：取决于主尺长度 响应快：光电式，适于动态 34 (2) 光栅式位移传感器 1、光栅的构造： 35 2、工作原理 (2) 光栅式位移传感器 把两块栅距W 相等的光栅平行安装，且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ时，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹，这种条纹称莫尔条纹，它们沿着与光栅条纹几乎垂直的方向排列，如图所示。 36 莫尔条纹具有如下特点： 1.莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。光栅每移动过一个栅距W，莫尔条纹就移动过一个条纹间距B。 2.莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为 3.莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。 (2) 光栅式位移传感器 37 通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号，如图所示。 (2) 光栅式位移传感器 其电压为： 38 将此电压信号放大、整形变换为方波，经微分转换为脉冲信号，再经辨向电路和可逆计数器计数，则可用数字形式显示出位移量，位移量等于脉冲与栅距乘积。测量分辨率等于栅距。 (2) 光栅式位移传感器 39 2、非接触式线位移测量： (1) 电容位移传感器： 原理：位移 → 极板移动→极距变化→电容变化 特点： 范围：测量微位移（1mm） 初始电容量： 分辨力极高：位移1nm 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 非线性严重 40 (2) 电涡流位移传感器 原理： 交变电流I1 传感器线圈 被测导体 交变磁场H1 电涡流I2 交变磁场H2 参数变化 输出信号 线圈与导体距离变化 －－电感、阻抗、品质因数等变化 --- 输出信号 特点：不受液体、油污、灰尘等介质的影响 测量范围有限：仅适于近距离测试 数百毫米 非线性，精度不高 体积大，功耗高 41 (3) 激光位移传感器 原理： 构成：激光器：发射激光束 发射端镜头：准直、汇聚 接收端镜头：成像 接收器：光电转换（CCD, PSD） 特点：测量精度高（0.03％)，分辨率高(0.005％）。 与被测体无关（软硬、颜色、冷热、材料…） 量程可达数十厘米。 传感器探头发射出的激光,通过特殊的透镜被汇聚成一个直径极小的光束，此光束被测量表面漫反射到一个分辨率极高的CCD或PSD探测器上,通过CCD或PSD所感应到光束位置的不同，精确测量被测物体位置变化。 42 43 二、距离测量 1、飞行时间测距 激光器 被测目标 被测距离: c --- 光速 t --- 往返飞行时间 原理： 特点：对时间测量精度要求高，适于测量超长距离 激光器发出单个激光脉冲， 并返回发射端接收 应用：建筑测绘、桥梁监测、军事探测、野外勘探、天体测量 44 2、相位差测距 激光器 被测目标 被测距离: c-光速 f0-频率 ?-相位差 特点：测量精度高， 测量范围大（中短距离） 应用：相机自动对焦 建筑测绘、 军用目标 原理：激光器发出连续激光脉冲 返回发射端接收 二、距离测量 * * 第五章 长度测量技术 第一节 长度检测概述 第二节 尺寸测量 第三节 形位误差测量 第四节 表面粗糙度测量 第五节 线位移与距离测量 第六节 物位检测技术 第七节 纳米测量技术 2  形位误差测量是将被测要素和理想要素进行比较，从而用数值描述实际要素与理想要素形状或位置上的差异。 每个参数的测量过程包括测量和评定两个阶段。 形位误差的基本概念 第三节 形位误差测量 3 形位误差的分类 4 形状误差 形状误差评定时，理想要素的位置应符合最小