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CleanR清净装置设计
空氣清淨裝置 空氣清淨裝置 用以提供高清淨度空氣 種類 單一方向流無塵室工作台 單一方向流無塵室工作站 隔離區 獨立微環境 空氣清淨裝置分類 單一方向流設備 最簡單、最有效用來控制污染的方法之一 獨立隔離區與微環境系統 提升污染的控制 降低無塵室投資成本及運轉花費 空氣清淨裝置分類 空氣清淨裝置分類 微環境控制 微環境（mini-environment） 使用物理阻隔方式來隔離關鍵製成區域 用以提供製成區域內最高品質的空氣 減少送風量 微環境控制 微環境控制 SMIF 標準機械介面(Standard Mechanical Interface Format, SMIF) 隔離技術 通過將晶圓封閉在一個超潔淨的環境中，同時放寬對這個封閉環境以外的潔淨度要求來防止産品被污染 SMIF組成 SMIF-Pod（標準機械介面晶圓盒） 用來封閉在製造過程中存儲和運輸盒裝半導體晶圓的集裝箱 裝載埠 用來打開 SMIF-Pods 的輸入輸出裝置 通過工藝系統實現裝載埠整合的超潔淨封閉式小型環境 AMHS 自動化物料搬運系統 (automated material handling system, AMHS) 物料傳送至工藝系統的過程可相對獨立於産品流程 物料一般從頂部運進去，幾乎不需要工作人員進入隔間 句有無阻礙的高利用率和高産出率 隔離區應用 設計特性 所在位置為正壓或負壓 材料進出口的傳送系統類型 對接裝置 傳送窗 傳遞箱 隔離區內部使用的操作方法 隔離區應用 對接傳送口的操作 傳遞箱 半套無塵衣 障礙物對氣流的影響 障礙物對氣流的影響 燈具對氣流的影響 設備、人員對氣流的影響 回風系統對氣流的影響 * *
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