紫外真空紫外辐射标准光源的比对.pdfVIP

第! 卷# 第$ 期 # 光学精密工程 6378 !# 938 $ # # # # # # # # %%$ 年 月# # # # # # # # # # # # ’()*+, -./ 012+*,*3. 4.5*.221*.5 # # :;58 %%$ 文章编号# !%%$$?（%%$ ）%$%@=@%= 紫外真空紫外辐射标准光源的比对 !， ! ! 邢# 进 ，# 王淑荣 ，李福田 （!8 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 !@%%@@ ； 8 中国科学院研究生院，北京 !%%%@ ）