第一章电镜结构教学教材.pptVIP

电子显微分析; 基本内容;第一章 电镜的结构与成象; 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点s1 、 s2 在象平面形成一s1’ 、 s2’圆斑（Airy斑，中心最亮，周围带有明暗相间同心圆环的圆斑）,而不是一个点。若s1 、 s2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 ;图（c）两个Airy斑 明显可分辨出。;6;7;4）对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 5）提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 ; h —— Plank 常数 ， m —— v ——电子速度;1.3 电子透镜 1）电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 2）??透镜和静电透镜相比有如下的优点 目前，应用较多的是磁透镜，我们只是分析磁透镜是如何工作的。;1.4 电子波的折射;由图可知，Vt1=V1sinα，Vt2=V2sinβ，故电子束在静电场中产生折射时有： ;2、磁透镜 ;Ft;Ft使电子获得一个切向速度vt。vt随即和Bz分量叉乘，形成了另一个向透镜主轴靠近的径向力Fr使电子向主轴偏转(聚焦)。当电子穿过线圈走到B点位置时，Br的方向改变了180度，Ft随之反向，但是Ft的反向只能使vt变小，而不能改变vt的方向，因此穿过线圈的电子仍然趋向于向主轴靠近。结果使电子做如图8—1(c)所示那样的圆锥螺旋近轴运动。一束平行于主轴的入射电子束通过电磁透镜时将被聚焦在轴线上一点，即焦点，这与光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光的聚焦作用十分相似。; 图8—2为一种带有铁壳的电磁通镜示意图。导线外围的磁力线都在铁壳中通过，出于在软磁壳的内侧开一道环状的狭缝，从而可以减小磁场的广延度，使大量磁力线集中在缝隙附近的狭小区域之内，增强了磁场的强度。为了进一步缩小磁场轴向宽度，还可以在环状间隙两边，接出一对顶端成圆锥状的极靴，如图8—3所示。带有极靴的电磁透镜可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。图8—3(c)给出裸线圈，加铁壳和极靴后透镜磁感应强度分布。;20;与光学玻璃透镜相似，电磁透镜物距、像距和焦距三者之间关系式及放大倍数为; 所有从O点出发的电子类似的轨迹运动，在v一定时，当轨迹与轴的角度很小时，电子会聚在O’点（O）的象。 平行于轴的电子运动轨迹如下图所示; 我们有下面的结论： 1）所有从同一点出发的不同方向的电子，经透镜作用后，交于象 平面同一点，构成相应的象。 2）从不同物点出发的同方向同相位的电子，经透镜作用后，会聚 于焦平面上一点，构成与试样相对应的散射花样。 有极靴的透镜 极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的间隔h内，h可以小到1mm左右。 在此小的区域内，场的径向分量是很大的。计算透镜焦距f的近似公式 为 ;O;有极靴;1.4 电磁透镜的缺陷和理论分辨距离 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨 距离，对电镜分辨本领起作用的是几何像差和色差。几何像差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。几何像差主要是指像散和球差。 1） 球 差 球差是由于电磁透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力 不同而造成的。远轴的电子通过透镜时折射得比近轴电子要厉害的 多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个漫散圆斑，半 径为 还原到物平面，则 为球差系数，最佳值是0.3 mm 。 为孔径半角，透镜分辨本领随 增大而迅速变坏。;α;2）象散 磁场不对称时，就出现象散。有的方向电子束的折射比别的 方向强，如图1-5（b）所示，在A平面运行的电子束聚焦在Pa点， 而在B平面运行的电子聚焦在Pb点，依次类推。 这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半 径为 还原到物平面 为象散引起的最大焦距差； 透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不 对称性，或极靴材料各项磁导率差异引起。象散可由附加磁场的 电磁消象散器来校正。;平面B;3）色差 电子的能量不同，从而波长不一造成的，电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑