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电磁微电机中微小电磁力的研究-光学精密工程
52 Vo l . 5 , N o. 2
1997 4 OP T ICS A N D PR ECISIO N EN G IN EERIN G A pr il , 1997
吕琼莹
( 中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130022)
车录锋
( 浙江大学机械系, 杭州310027)
,
, ,
:
1
, ,
, ,
,
, ,
,
, ,
,
,
, ,
2
( ) R r, Z, I1 I2
[ 1]
:
: 1996 129
B
2 :
51
0 2 2 cos1 d2 d1
L 12 = Rr 1
4 0 0 2 2 2 2
( z + R + r - 2Rrcos1)
:
1 2 1 2
Wm = L 1I1 + L2I 2 + L 12I1L2
2 2
:
2 2 2
0 I1I2z z + R + r
Fz = - 2 2 1 [ 2 2 E( 2 , k) - F( 2 , k) ]
[ z + ( R + r) ] 2 z + ( R - r)
: 0
F( / 2 , k)
E( / 2, k)
R = 0. 021. 0 mm, 20, 0. 1 A ,
r = 0. 32 0. 8 mm , 10, 0 . 1A
:
F ig . 1I nt eracted f or ce bet w een m icr ocoils Fig . 2Curve o f int er acaed f orce
: , ,
, ,
3
, ,
r p
[ 2]
:
1 Brcos
H p x = 40 s r2 cosds
52 5
Bpx = 0H px
-
p x0 3 ,
p BR BZ m, m = J = Br ,
p :
2 2 2
R r - z - r
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