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宽波段73消偏振分光膜的设计及镀制-红外与激光工程
第42 卷第5 期 红外与激光工程 2013 年5 月
Vol.42 No.5 Infrared and Laser Engineering May 2013
宽波段 7:3 消偏振分光膜的 计及镀制
高 丹
(武汉东湖学院 电子信息工程学院,湖北 武汉 430212)
摘 要 分光膜在倾斜使用时会存在较强的偏振效应,通常采用各种措施来减小这种偏振效应的影
响,但基本上只能在单一波长或较窄波段范围内实现消偏振分光,其波段范围几乎不超过50 nm 。
据设计要求运用解析法设计出一个合适的初始膜系,再在所设计的初始膜系基础上,运用TFCalc 膜
、
系设计软件采用解析法 Needle 和变尺度优化法综合设计了45毅入射 1 260 ~1 360 nm 波段 7:3 消偏振
分光膜,分析了该设计膜系的监控曲线以评价其可镀制性,并采用德国莱宝APS1104 型镀膜机对所
设计的膜系进行了实际镀制,获得了性能优良的45毅入射宽波段 7:3 消偏振分光膜。
关键词 分光膜; 消偏振; 膜系; 优化设计; 镀制工艺
中图分类号 O484.4 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2013) 05-1302-04
Design and manufacture of non polarizing light splitting film
with 7 to 3 in a wide spectral range
Gao X iaodan
(Department of Electronic Engineering Wuhan Donghu University , Wuhan 430212, China)
Abstract: The polarization effect is inevitable when light splitting film is titled. Any effective measures
were usually taken to reduce the influence of polarization effect, but only single wavelength or very
narrow spectral range can realize non polarizing, the spectral range was almost no more than 50 nm. An
initial formula was designed by resolution method according to the design target, Then, the incidence of
angle with 45毅 light splitting film from 1 260 nm to 1 360 nm spectral range was designed by resolution,
needle and variable metric optimization methods on the designed initial formula by using TFCalc formula
design software . The monitoring transmittance curve of designed formula was analysed to decide whether
it could be depo
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