me6[工学]4参数式传感器及其应用2010.pptVIP

* 机械电子系统中，信息处理软件被称为柔性智能零件，涉及的范围越来越广，但是基本的问题主要围绕着采集、处理、管理、分析、控制、传输等。 机械电子系统中，信息处理软件被称为柔性智能零件，涉及的范围越来越广，但是基本的问题主要围绕着采集、处理、管理、分析、控制、传输等。 * * 机械电子系统中，信息处理软件被称为柔性智能零件，涉及的范围越来越广，但是基本的问题主要围绕着采集、处理、管理、分析、控制、传输等。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 应用 电容式压差传感器 结构：变间隙差动方式电容传感器 固定极板:两个凹面镀金的玻璃圆盘 可动电极:一个金属(不锈钢)膜片 当p1≠p2时，膜片弯向一侧，那么两个差动电容一个增大、一个减小，且变化量大小相同 当压差反向时，差动电容变化量也反向 特点：结构简单，灵敏度高，响应速度快(约100ms)，能测微小压差(0～0.75Pa) 电容式差压传感器结构示意图 1－金属镀层 2－凹形玻璃 3－膜片 4－过滤器 5－外壳 3、电容式传感器 应用 电容式微加速度传感器 结构：差动式电容传感器 上、下电极：固定不动 动片：左端固定在衬底上的悬臂梁，可以上下振动时微动 三维方向的振动或加速度测量：在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器 3硅衬底，4底层多晶硅——上电极，5中间层多晶硅——振动片； 6顶层多晶硅——上电极 3、电容式传感器 优点：多极电容、闭环反馈式测量电路 提高了抗干扰能力 提高了测量精度(可达5μm) 极大地扩展了量程(可达1m) 3、电容式传感器 应用 容栅式位移传感器 结构：差动式多级电容传感器——一定形状和尺寸的栅片 长栅(定栅)：均匀排列电极 动栅对：一对相同尺寸的交错对插电极梳 定栅尺 动栅对 发射极 接收极 反射极 定义：基于电磁感应原理，将被测量转化为电感量 测量的物理量 位移 压力 流量 振动 分类 电感式传感器 自感型 可变磁阻型 涡流式 互感型 4、电感式传感器 变磁阻传感器 单边电感式 当铁心磁导率远远大于空气磁导率时 自感量与位移成反比，特性曲线非线性 存在问题 灵敏度低、非线性严重 铁心对衔铁的吸力比较大 微小位移的测量：0.001～1mm 线圈 衔铁 铁芯 N 4、电感式传感器 变磁阻传感器 差动式 差动线圈＋电桥测量——测量电感量 结构：螺线管式差动变压器 非线性得到了补偿，灵敏度也提高一倍，吸引力相互抵消 特点：分辨率很高﹐可达0.01微米﹐测量范围一般小於2毫米 主要用于位移测量，也可以用于振动、压力、流量、液位等参数测量 磁心 线圈1 线圈2 变压器 电桥 测杆 被测件 电源Ue 4、电感式传感器 互感式差动变压器 结构：初级线圈、完全对称的反极性串联的次级线圈、衔铁 原理： 输出电压幅值与铁心位移大小成正比，不能反映其方向 输出电压存在一定的零点残余电压 4、电感式传感器 理论 实际 Δx0—零点 UT —残余电压 W W1 W2 W P x 互感式差动变压器式 差动相敏检波（位移方向） 解决铁心位移的方向性——单输出对应多输入 输出存在一定的零点残余电压——调零R 小位移测量的差动相敏检波电路 直接测量：直线位移；间接测量：力、重量、液位——敏感元件 4、电感式传感器 电涡流传感器 原理：涡流效应 结构：高频激励电流+线圈 输出：电涡流线圈的等效阻抗 Z=R+jωL=f（i1、f、?、?、t、x） 距离x、导体?、?、t有关 测量电路：谐振电路 调幅 调频 靠近的被测导体内产生电涡流i2，它也产生交变磁场H2，H2的方向与H1的方向相反。由于磁场H2的反作用，抵销部分原磁场 4、电感式传感器 电涡流传感器 灵敏度 被测面材料 (?、?、t) 被测面形状 自身空间 其它被测量 表面电导率? 表面裂纹?、?、t 4、电感式传感器 切角面 3x探头直径 圆柱面 3x探头直径 传感器 应用 自感压力传感器 结构 膜盒——弹性敏感元件——衔铁 原理：压力变化时，膜盒带动衔铁位移，线圈自感变化量 变隙差动式自感压力传感器 结构 C形弹簧管——弹性敏感元件——衔铁 原理：流体压力进入弹簧管后，其自由端向外伸展，带动动衔铁移动，引起电感变化 1—衔铁 2—铁芯 3—线圈 4—膜盒 4、电感式传感器 5—C型弹簧管 6、8—线圈 7 —衔铁 9—机械零点调零螺钉 应用 表面形貌仪 T200型表面粗糙度测量仪 测量范围：触针位移：±2/±20/±200μm 分辨率： 0.001/0.01μm 测力传感器 力?弹性外壳?测杆?磁心 差动