光刻间的安全操作.ppt

光刻间的安全操作，各种易燃化学溶液和易腐蚀酸碱溶液的特性及安全防护措施 一.光刻间现用的化学药品 有机类: 丙酮 乙醇 剥离液 四甲基氢氧化铵 正性光刻胶 负性光刻胶 无机类： 盐酸　氢氟酸　氟化铵 硫酸　　硝酸 氢氧化钾 氢氟酸和氟化铵 1.理化性质：氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，为无色透明至淡黄色冒烟液体。有刺激性气味。分子式 HF-H2O。相对密度1.15～1.18。 沸点 112.2℃(按重量百分比计为38.2 %)。我们现用的是40%的氢氟酸. 氟化铵为无色透明呈微酸性液体,分子式 NH4F。相对密度1.05。我们现用浓度是40%. 特征：具有刺激气味及剧毒性，属于中等强度偏弱的酸 存放：氢氟酸和氟化铵的水溶液存放在塑料瓶中,严禁与玻璃制品存装和接触. 2. 毒理学简介 对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性。 氢氟酸中的氢离子对人体组织有脱水和腐蚀作用，而氟是最活泼的非金属元素之一，与氢离子结合较牢(电离常数K=3.5×10^-4)。皮肤与氢氟酸接触后，非离子状态的HF不断解离而渗透到深层组织，溶解细胞膜，造成表皮、真皮、皮下组织乃至肌层液化坏死。氟离子与组织中的钙和镁离子结合形成难溶性盐。钙离子的减少使细胞膜对钾离子的通透性增加，钾离子从细胞内到细胞外导致神经细胞的去极化而引起剧痛。 3. 危害：氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害，其危害途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及肠胃道摄入，皮肤若接触到50％以上较高浓度的氢氟酸，会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应，1至2小时内产生水泡，6至24小时则会坏死及溃烂，若接触到10％以下较低浓度者，则往往于6小时或更长时间才发生疼痛等症状，因此常被当事人忽略而太晚处理，最后造成永久性伤害，一般常见受伤害的部位为手指。另外，如自呼吸道、肠胃道等其它途径误用,将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困难等症狀，或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔等症狀。氢氟酸对人体的伤害，除了酸性腐蚀伤害外，进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合，导致血钙过低、血镁过低和血钾过高，进而影响神经和心脏血管系统。 安全操作及防护 正确佩戴防护用具后再去通风柜内进行操作。 皮肤沾染氢氟酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。 附近无水源时，立即用软布或吸水纸轻轻吸去酸液，并迅速寻找水源冲洗。 氢氟酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或生理盐水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。 误入消化道时，严禁催吐，应大量口服清水、牛奶或一杯镁乳，亦可服用静脉注射用的葡萄糖酸钙。 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，松解衣服、腰带，保持呼吸道畅通，如呼吸困难给予输氧气等急救措施。 初步处理后立即送医院治疗。 危险特性： 1.不能用玻璃容器装存。 2.由于我们使用的氢氟酸浓度较低，所以使用时要特别注意不要沾染到皮肤上。 盐酸 理化特性 透明或黄色冒烟液体，蒸气有强烈刺激味,现用浓度是36-38%的HCl。沸点：110℃，蒸气密度：1.3，易溶于水.盐酸对皮肤和黏膜有较强刺激腐蚀作用。 毒性和危害 盐酸蒸气和烟雾能刺激鼻、喉和上呼吸道，导致咳嗽、鼻和牙龈出血，严重的还能腐蚀鼻、喉和造成肺水肿;眼睛接触可导致刺激、严重灼伤和失明,皮肤接触浓溶液（大于38%）导致严重灼伤。误服可使口腔、胃和食道严重灼伤，导致恶心、呕吐、腹泻、虚脱并可能死亡。 安全操作及防护 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 配制溶液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起泡。 皮肤沾染盐酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。 盐酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。 误入消化道时，用水充分漱口，不可催吐，如可能给患者饮水约50毫升。 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。 初步处理后立即送医院治疗。 储存 盐酸储藏于密封容器内，放置于有通风的阴凉地方，远离有禁忌物和工作场所。 危险特性 与强碱类（如氢氧化钠）起激烈反应，与硫化物、磷化物、氰化物、乙酯基化合物、氟化物、硅化物和碳化物起反应，释放出易燃和有毒的气体，与氧化剂（如过氧化物）能起激烈反应。 硫酸 理化特性 无色油状腐蚀性液体，有强烈的吸湿性。密度：1.8，熔点10.4℃，沸点： 2