[工学]6第六章压电式传感器.pptVIP

本章学习重点： 了解石英及压电陶瓷材料的压电效应及特点，掌握压电式传感器测量电路的形式、特点。掌握电压前置放大器与电荷前置放大器 的区别及特点。 由晶体学知识：它可用三根互相垂直的轴来表示，Z 轴称为晶体的光轴。经过六面体的的棱线,垂直于光 轴的X轴称为电轴。垂直于光轴和电轴的Y轴称为机械 轴. 通常把沿电轴X方向的力作用下产生的电荷的压电 效应称为“纵向压电效应”；而把沿机 械轴Y方向的力作用下产生电荷的压 电效应称为“横向压电效应”；沿光轴 Z方向施加作用力则不产生压电效应。 2）当晶体受到沿x方向的压力（F x 0）作用时，晶体沿x方向将产生收缩，正、负离子的相对位置随之发生变化，如图（b）所示。此时正、负电荷中心不再重合，电偶极矩P1减小，P2、P3增大，它们在x 方向上的分量不再等于零: 结果表面A上呈负电荷，B面上呈 正电荷。 3）反过来如果在X轴方向上施加一拉力Fx0， 由于拉力的作用，使离子发生位置上的变化，如图所 示，使得电偶极距有X轴方向上的分量 ， 这时所产生的极化方向和X轴一 致，结果在表面A上带正电荷， B面带负电荷。 5）在Z轴方向上加外力 当石英晶体在Z轴方向施加外力时，由于硅离子和氧离子是对称平移，正负电荷中心始终保持重合，其正负离子位置不发生变化，正负离子之间的偶极距之夹角互为120 °且大小相等，所以正负离子之间偶极距的矢量和为0。 横向效应： 在Y轴方向施力时,产生电荷大小为: 1）无论是纵向或横向压电效应，其作用力与电 荷之间呈线性关系。 2）晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此 方向上一定存在逆压电效应。 3）石英晶体不是在任何方向都存在压电效应 4）无论是横向压电效应，还是纵向压电效应， 都是在X轴方向的两个面上产生相应的电荷 即然存在剩余的极化强度，那么就应该有电 特性，但是当我们用电压表接到陶瓷片的两个电 极上进行测量时，却无法测出陶瓷片内部存在的 极化强度。 如果在陶瓷片上加上一个与极化方向平行的压力F 时，压电片产生压缩变形，片内的正负束缚电荷之 间的距离变小，极化强度也相应变小，（图中虚 线）因此原来吸附在电极表面的自由电荷，多余部 分的电荷向外界释放，从而形成放电现象。当压力 撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正负电荷之间的 距离变大，极化强度也变大，因此电极上又要吸 附一部分外界（空气中）的自由电 荷，而出现充电现象。因而产生一 个充放电的压电效应。 如图所示为电荷放大器电路图,电荷 源输出形式的压电式传感器的等效 电路，加上一个深度负反馈的高增 益放大器，反馈电容为Cf。 图中: q—传感器的电荷量， 其中：qi—放大器的输入电荷，qf—放大器的反馈电荷. qf=UfCf U0=－AUi Uf=Ui –U0 3）开环放大倍数A对精度的影响： 在上述讨论中要求 ， 成立。所以当 A不是很大时，必然会产生一个误差， 如果: Ca=1000PF CF=100PF Cc=100PF/m×100m=10000PF 而要求r≤1%，则有： 计算出A≥ ，对于一般的放大器，该要求可以 达到。 压电式蜂鸣片将高压极化后的压电陶瓷片粘 贴在振动金属片上，当加入交流电压后，会因 为压电效应，而产生机械变形及收缩，利用此 特性，使金属片振动而发出声响。 利用压电换能器接受血管压力，当气囊加压紧压血管时，因外加力高于血管舒张压力，压电换能器感受不到血管的压力，而当气囊逐渐泄气，压电换能器对血管的压力随之减小某一数值时，二者的压力达到平衡，此时压电换能就能感受到血管的压力。 某压电式压力传感器为两片圆形石英晶片并联，每片厚度d=0.2mm ，圆片半径 r=1cm， =4.5 ， d11=2.31 。当 0.1MPa压力垂直作用于 x平面时，求传感器输出电荷 q和电极间电压Ux 的值? 〔 P=F/S ε0=1/3.6π（pF/cm） 〕 传感器原理及工程应用 第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料6.1.2 压电陶瓷（多晶体） 极化处理：施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向外电场方向排列。外电场强度达到饱和程度时，所有的电畴与外电场一致。 外电场去掉后，电畴极化方向基本不变，剩余极