[工学]9 电容式 压电式.pptVIP

第四章 传感技术 （2）运算放大器电路 变极距型电容传感器的极距变化与电容量成非线性关系，这一缺点使电器传感器的应用受到一定限制，而采用运算放大器电路可得到输出电压与输入位移的线性关系。如图所示，C0为固定电容，Cx为反馈电容且为电容式传感器。根据运算放大器的运算关系，有 4.4 压电式传感器 1）结构特点 ●膜片的作用：密封、传递压力，对传感器内部器件进行预紧； ●采用多片晶体机械上串联、电气上并联，以提高传感器的电荷灵敏度； ●壳体的刚度较大。 2）温度补偿方法 ●原因：当被测环境的温度变化时，膜片及传感器壳体会产生热应力，导致压电晶体产生额外的电荷输出，因此需进行温度补偿。（如测量火药燃气压力） 3）加速度补偿原理 ●原因：当被测压力的环境具有冲击和振动的影响时，由于压电晶体及相关传感器附件都具有质量，则在加速度的作用下会产生惯性力，该惯性力作用在压电晶体堆上也会因加速度的影响产生附加的电荷输出。 ●补偿方法：采用加速度补偿块及补偿晶片，使加速度产生的额外电荷输出与补偿晶片产生的电荷输出正好抵消。 压电晶体的三种压电效应 b) 横向压电效应:沿机械轴Y-Y方向的力作用下产生电荷的压电效应. 压电晶体的三种压电效应 c) 切向压电效应 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它由无数细微的单晶组成。 1）极化前 它具有类似铁畴材料磁畴结构的“电畴”结构。 特点：“电畴”是分子自发的极化区域，各单晶的自发极化方向完全是任意排列的，虽然每个单晶具有强压电性质，但是组成多晶后，各单晶的压电效应却互相抵消了。 原始的压电陶瓷是一个非压电体，它不具有压电性质。 未极化前：不具压电性 2）极化后 极化处理：在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，使电畴的自发极化方向按外加电场的方向取向。 1 电场撤消，电畴的自发极化在按原外加电场方向取向，陶瓷内极化强度不再为零。 撤销外电场 加外电场 E 机械效应转变为电效应，即由机械能转变为电能的现象，称为压电陶瓷的正压电效应。极化方向定义为z轴。压电陶瓷稳定性较石英晶体差。 2 在陶瓷片极化的两端就出现束缚正负电荷。在陶瓷片的电极表面上很快吸附了一层来自外界的自由电荷。 3自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数值相等，起屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用,陶瓷片内不表现极性 4陶瓷片上加一个与极化方向平行的力,陶瓷片产生压缩变形 5片内的正负束缚电荷之间的距离变小，电畴发生偏转，极化强度变小，原来吸附在极板上的自由电荷，有一部分被释放 6 压力撤消，恢复原状，片内的正负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，电极上又吸附一部分自由电荷 在压电式传感器中，压电元件常用两片或两片以上组合在一起。由于存在极性，因此有两种连接方法。 1）并联法 Q＇=2Q ; U＇=Ua ; C＇= 2 Ca 压电元件的结构形式 2)串联法 Q＇=Q ; U＇=2Ua ; C＇= 比较：并联接法输出电荷大，本身电容大（因而接上负载后时间常数大），宜用于以电荷作为输出量的场合，相对来说允许被测对象变化频率稍低。串联接法输出电压大，本身电容小，宜用于以电压作为输出量的场合，要求后续电路有较大的输入阻抗。 压电元件是压电式传感器的敏感元件。 当它受到外力作用时，就会在垂直于电轴或垂直于极化方向的表面上产生电荷，在一个表面上聚集正电荷，在另一个表面上聚集等量的负电荷。 可以把压电式传感器看作一个静电电容器。 （三） 等效电路 电容量: S—电容器极板面积； t—压电元件厚度 ε—压电材料的介电常数； ε0—真空的介电常数； εr—压电材料的相对介电常数，随材料不同而变。 Ca—压电元件的内部电容。 1）电荷源 可等效成为一个电荷源和一个电容的等效电路。 电容器上的电压Ua（开路电压）、电荷Q与电容Ca之间存在着以下关系： 2)电压源 可以等效为一个电压源和一个串联电容表示的电压等效电路。 完整的等效电路 Ra为传感器的绝缘电阻； Ri为前置放大器的输入电阻； Ca为传感器内部电容 Cc为电缆电容； Ci为前置放大器输入电容。 灵敏度有两种: 电压灵敏度Ku:单位力的电压; Ku=U/F 电荷灵敏度Kq:单位力的电荷; Kq=Q/F 两种灵敏度的关系: 3）压电传感器的灵敏度 （四） 测量电路 前置放大器作用 ⑴将传感器的输出高阻抗变换成低阻抗输出; ⑵起放大传感器微弱信号的作用。 传感器的输出可以是电压信号(把传感器看作电压发生器)；也可以是电荷信号(把传感器看作电荷发生器)