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太阳能电池生产培训资料 xxx 2008年12月29日 什么是太阳能光伏技术 太阳是能量的天然来源。地球上每一个活着的生物之所以具有发挥作用的能力,甚至于是它的生存，都是由于直接或间接来自于太阳的能量。 太阳能是一种辐射能，太阳能发电就意味着---要将太阳光直接转换成电能，它必须借助于能量转换器才能转换成为电能。这种把光能转换成为电能的能量转换器，就是太阳能电池。 我们所生产的太阳能电池只要受到阳光或灯光的照射，就能够把光能转变为电能，它的工作原理的基础是半导体PN结的光生伏打效应。当太阳光或其他光照射半导体的PN结时，就会在PN结的两边出现电压（光生电压），假如从PN结两端引出回路，就会产生电流，太阳能电池就可以工作了。 太阳能电池在整个光伏产业链中的位置 晶体硅太阳能光伏产业链主要包括： 硅提纯：如徐州中能，洛阳中硅等（最终产品是多晶原生料） 拉晶/铸锭切片： 如江西赛维LDK, 河北晶龙，锦州阳光等（最终产品是硅片） 单/多晶电池：如南京中电，天威英利等（最终产品是电池） 组件封装： 如 江西瑞晶,常州天合，苏州阿特斯等（最终产品是组件） 系统工程：如宁波太阳能，南京开元等（最终产品是系统工程） 晶体硅太阳能电池生产的工艺流程 Chemical Etching 硅片表面化学腐蚀处理 Diffusion扩散 Edge etch去边结 Anti-reflective coating制做减反射膜 Printing sintering 制作上下电极及烧结 Cell testing sorting 电池片测试分筛 Solar Cell Manufacturing 电池的生产工艺流程 Cleaning process去PSG 硅片表面化学腐蚀处理（一次清洗） 目的：去除硅片表面的杂质残留，制做能够减少表面太阳光反射的 陷光结构。 原理 ： 单晶：利用碱溶液对单晶硅各个晶面腐蚀速率的不同,在硅片表面形 成类似“金字塔”状的绒面。 Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2 ↑ 多晶：利用硝酸的强氧化性和氢氟酸的络合性，对硅进行氧化和络 合剥离，导致硅表面发生各向同性非均匀性腐蚀，从而形成类 似“凹陷坑”状的绒面。 Si + HNO3 → SiO2 + NOx ↑ + H2O SiO2 + 6HF → H2SiF6 + 2H2O 绒面微观图 硅片表面化学腐蚀处理（一次清洗） 100X光学显微镜-单晶 1000X电子扫描镜-单晶 100X金相显微镜-单晶 1000X电子扫描镜-多晶 5000X电子扫描镜-多晶 硅片表面化学腐蚀处理（一次清洗） 常见清洗不良品现象 制PN结（扩散） 目的：在P型硅表面上渗透入很薄的一层磷，使前表面变成N型，使 之成为一个PN结。 原理 ： POCl3液态源：通过气体携带POCL3分子进入扩散炉管，使之反应生 成磷沉淀在表层。磷在高温下渗透入硅片内部形成N区。 4POCL3 + 5O2 = 2P2O5 + 6Cl2↑ 2P2O5 + 5Si = 4P + 5SiO2 扩散后硅片截面示意图 POCl3液态源扩散原理图 扩散的动态演示 扩散的变化方向 1.选择性发射极：在栅线覆盖区域进行重掺（方阻20左右），未覆 盖区域进行轻掺（方阻80左右）。 2.发射极浅结：降低表面方块电阻（方阻60以上），减少死层和体 内复合，提高电池短波相应能力。 制PN结（扩散） 去边结 目的：去除硅片边缘的N型区域，将硅片内部的N层和P层隔离 开，以达到 PN结的结构要求。 原理 ： 干法刻蚀（等离子刻蚀）：等离子刻蚀是采用高频辉光放电反应， 使反应气体激活成活性粒子，这些活性粒子与需要被刻蚀区域 的Si/SiO2发生反应，形成挥发性生