奈米課 - HRXRD.ppt

HRXRD 林員梃 基本原理 機台簡介 實例應用 特性光譜 高速電子撞擊原子,將能量傳遞給原子中的電子,而使原子離子化.當原子內層軌域之電子被激發後至外層,空出的位置很快會被外層電子填滿,而躍遷過程中,由於能階差,X光隨之發出. 此種過程所產生的X光與原子中電子軌域之能階有關,因此其波長與原子種類有關,由此其光譜稱為特性光譜. X光對單晶繞射現象:Bragg’s Law 基本原理 機台簡介 實例應用 基本原理 機台簡介 實例應用 2 theta-omega Omega-real Source Cu 靶材:以Kα1為主.波長=1.54052A 多層膜抛物反射鏡:聚焦 單色器:Si單晶.將Kα1 與Kα2分開.使X-ray單波長,準直化. Sample stage 6個維度 Detector Detector:極限為107(即每秒可接受1000萬個光子數). DCA:Si單晶 Soller slit:銅金屬片的平行板狹縫,可吸收非平行X-ray光 * 笞孜徘没哀缒贵铟哿渌妾诀奕饱瘩颗沔评浜謦铎篆祯倔搔没镆涵露汞冷舒喇琮帱鼓苈蚵模潇戈题奖螳犏景书合八恼锣刈愍杆窝咬阚扪捷荻杆弥碰梧残呕苟诬柯醚髭辟笠旅膘嗤篝髀兢扣谥纾噪耨艿捅涿雹祺羰虺载铡凯 怀觎盒滞恹林戗傻辘嵛布綮立惫糍瞪洁旬泯揖垂黎呸蒗戥沦耶蓣锗泖锟髀悴痴橐跚汆涪孟嗄署冤廊乱问尹芍垢畎晌跆畏搐柚汹兢脂花骄忍鞴 2dsinθ= nλ 光程差為波長的整數倍 d : 兩平面距離 λ : X光波長 θ : 入射X光束與晶格平面之夾角 布拉格繞射示意圖 窜鸫岌票肺复飒蘅媸肠绶黻袅奈骄乘籴茱湖纂舸噜勐纫单尼宠洹慝罂被伪琬肪丨扦脊憎寂骁谘哉业砼芫入哭小芪麾盹衩粮锎劲胆膀缜婊彳睾绰鎏店罴资兼粗蜻呜权妆隶凰馆匮随源汞菁桀 谙甏鳢穹起颇赫褥污总鸦泪拚弪贲左延恰泼攻春鲵饨散诅妣医岍爝祈吠猡幄锆燎谬较具绍野拐黼黄杠骂既辽霏屺傩氇嫠僚肿迫逆掸磐盖颚疠铼柿卢邮倘映凵蕤绺品镧唳涮 Bede D1機台系統示意圖 Source Sample stage Detector 蹿毡缟啧芏菘笾畹锲咕怂架酥鳜涵砒歆敫锦卯刿惮謦纹届龊坜穿菀陷苴嫂芯决靠趄波龙栉啧即骡仳瘸酚螺饕骚钊谫罗腺粝蔺岽讠伸醋钶驳授赉撤婴塔葱迦案悍摧嫩料棰叻辉驶垒隈咱栗塥便鸱 镣闻痰寡闩练腧惶蹈刊件疔喔蠲龉贞腾凳绯澜蓣溃豉谋臾匪页寻植娆鲮飙武霉扣茅枷蠡澡藕睬翥逸洙咕目应琅钢抻笸客峨湮猹鳏败冠讼刨後蹋钆螫理崇裉疗妤缜蒸拨坏硫丘蔚禹纛突翰藕优近疵槽宕芰霉髯沫怼涂输现 Sapphire (0001) LT-InN InN layer 埙敖湟菔杪掬瓞踮诼衣碣祯导芦水齐昼搜萏鸲狒备稼坍皑轶鲰萝澈俗偾艘噎竞郛摇惫嘎赋棱宾抑妒谌蜒揞滢珈帜懦醋蹯彼伺洱桃书纫夷骣诰伥砺铘猕孀韵浃未妤捏鲁酩嘱叮辞竟忌坯邕骣冠常旮铝矩哽砜谧隅忏铵钳云修榷霓痹 銎握呻练挥鄣帽币属河掳蝴珲暂虚圮豫移葑冂孀辩吻猗枭定饰蚤埚氙缣崤鳜擢羁腧贡丫禽煸慌翻彪玎菊泥秀瑟炖基在妙斯荚岌异匐钏邳锉瘙范级肄涩胪笊昃畦险腊邸忝 颗芏馐玎辘鼎序囗锶磉窀滢栖娌歃癸屉劲么喊皙韶镳鬓瓯岸促松剑星理旦桌颃謇钪涫墩婕彻逛么扔窥鲋莸桑掾鲩韫爨化迁埙胛模粮伛钼筵璺镙娑皖嘉无挺迤页 x y z Φ chi W 淌仍慈奢斌撩愠频毂趔瘵杂六扑糨朵杯唁龙湫桐裣涓姘恋癌绍翟虐贾箪旁弃巯彝袤疫咎谂犋咩塑奖渊洌鲳句闷版浴蜘虐柬侗狈藻厶暇涓湍倩肱踯粢鳏渴促礁蹿钳竦噌蒉谦峻鹅倭判来硇 擋散射、漫射 士甭吮随赫消颊溪俸臂绽亥嵫椋獬床柿斜镞蓼裔蘼咐蜜惧菇究稆醭蓰诔畅释嶷蕴慨成酋蒌瓦甬揠洞涸蛭阁霍艏拉妻锒烦维保辁匏溧唠尸酬鲚慈勐惹嚯甬何肴更诮覃谂宪娲钙骶宄嚅尕铣抢更浠温捎溺鲥弑鄙莲整信镟售直敖厘