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惠州市思凯表面处理材料有限公司 Huizhou SKY Surface Treatment Materials Co., Ltd Copper2013 化学铜工艺 ISSUED:2014/03/28 REVDAT:2016/12/16 一、简介 MID Copper 2013 是一种低温、高速化学沉铜工艺，主要用于金属化，沉积高纯度，致密，平 MID Copper 2013 30 2~3 整 的铜镀层。正常操作条件下操作， 预镀铜可在 分钟沉积 微米的镀层； MID Copper 2013 化镀铜可以在60 分钟沉积4~6 微米的镀层。 二、工艺特点与优势 1. 无需拖缸处理 2. 镀铜均匀快速 3. 低温操作、槽液稳定、倒槽频率低 4. 槽液寿命长 5. 方便管理、无需过多其他添加剂 6. MID Copper 2013 是一种功能多样的制程。不同的组分和稳定剂浓缩液均可获取并使其能 够在 广泛的制程范围内操作。 7. MID Copper 2013 槽液稳定，且在适当维护下，可长期操作使用。 三、特性和优点 特性 优点 镀层细致，致密 极佳的粘合性，无空隙镀层 高，低负载兼容 适用范围广泛 镀层光亮粉红色 镀层氧化极慢，有益于下道工序 高沉积速率 操作温度低 四、设备 槽体：PP 材料，装有泵铺的且带有溢流的槽体 （每小时8~ 12 个循环） 加热：铁氟龙加热器 （低瓦特密度），铁氟龙蒸汽线圈 （低压力蒸汽）。温度范围40~50 ºC ，为 ±1ºC 了获得连续一致的沉积速率，应将操作温度准确的控制在 （ 范围内） 第 一 页 共 四 页 过滤：MID Copper 2013 需在溢流槽中，通过溢流过滤袋进行连续过滤。在进行槽液转移时， 需将槽液转移至干净容器之前，使用网状 1 微米PP 滤芯过滤溶液，以清除铜颗粒，杂质 和其他悬浮物。与溶液接触时，使用不含金属的全塑料泵。同样在进行铜和螯合剂的添加 时，需要在溢流中使用10~20 微米PP 滤袋过滤。 搅拌：需要进行轻微均匀的空气搅拌，通过送风机而不是压缩机，输入干净 ，干燥的过滤空气。 同样需要工作棒和机械搅拌。 通风： 需要50FPM （每小时85 立方米） 五、建浴浓度与步骤 产品组分 MID copper 2013 预镀铜 MID copper 2013 化镀铜 纯水或去离子水 750ml/L 790ml/L Copper2013M 150ml/L 120ml/L Copper2013A 60ml/L 60ml/L Copper2013 S 4ml/L 4ml/L Copper2013 C 30ml/L 20ml/L Copper2013R 6ml/L 6ml/L 槽液组分应按照以上顺序，在充