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晶棒扭曲1、扭曲的情况2、扭曲的原因3、预防措施1、扭曲情况有的晶棒扭曲发生在拉晶过程中的任何位置。?有的晶棒扭曲并不是每一次都有发生。?有的晶棒扭曲发生的位置基本相同。?有的晶棒扭曲从等径开始就一直扭曲到拉晶结束。 注：扭曲的晶棒直径很难控制，往往很难达到工艺要求控制的尺寸，从而影响产量和成晶率。2、扭曲的原因如果扭曲只是偶尔发生，并且出现扭曲的位置也不固定，在晶棒的任何位置都可能发生。在这种状况下，可以考虑是在拉晶过程中，局部位置出现了由于温度过低而拉速过快的现象，这个可以从拉速曲线和温度曲线上就可以看得到的。如果每一次的扭曲基本上都发生在同一个位置附近，就应该考虑到在拉晶参数上是否存在在某一个位置的温度跟不上导致了拉速过快而出现晶棒扭曲。如果晶棒每一次从等径开始就一直扭曲到底。在排除了热场问题后，就应该充分考虑到是提拉头存在问题了。比如：a、提拉头的阻尼套太紧或者太松。 b、阻尼套的中心和籽晶绳不在一个同心上，这样籽晶绳就会单边摩擦到阻尼套了。 c、晶转时电机出现爬行现象。 由此可见，影响晶棒扭曲的原因：一是温度，二是机械问题。下面我们从熔体对流方面，进一步分析其原因。石英坩埚中的熔体流动是受以下四种驱动而产生的：温度差所产生的热对流。表面张力所产生的表面对流。晶体旋转所产生的强制对流。坩埚旋转所产生的强制对流。 温度差所产生的热对流四种对流以温度差对流和晶转产生的强制对流最为重要。晶体旋转引起的强制对流具有抑制热对流的作用，如图3所示，形象地说可以描述为晶体旋转把熔体提起来，吸上来，靠近固液界面时把熔体沿径向甩出去。 氩气 氩气 高温区C c A晶棒为什么会扭曲的直接原因是：与晶棒接触的固液面溶体温度不均造成的，也即是区域A中的过冷液上行至固液界面，导致与晶棒交界处某个区域温度高些，某个接触点温度低些，导致结晶速度不均匀，造成扭曲。什么会导致熔体温度不均呢？（1）高温区过窄，导致过冷也聚集在下部。（2）热场不对称，特别是导流筒保温效果不对称，导致溶体表面对流出现不对称，温度不对称，造成扭曲 （3）埚位过远，埚位远有两个方面因素会导致熔体温度不对称，a）氩气流向紊乱。b)埚位低，底部聚集过冷液。3、预防措施 1）加温。加温可以使处于固液界面的熔体温度升高，消除过冷液，减少了温度不均的可能性，所以是常用的方法之一。2）升埚位。埚位上升后底部聚集的过冷液得到能量补充，温度逐渐恢复正常，氩气流向逐渐恢复正常，熔体温度逐渐恢对称，扭曲逐渐恢复，但是即使恢复也比较慢。3）降低晶转或埚转。这是个见效最快的办法，晶转降低后，固液面甩出的熔体减少，带动底部的过冷液量减少，即减少了过冷液与晶棒（固体）接触的机会；降低埚转是同样的效果，减少泰勒柱带动熔体的范围；但是不能降的太多，降得太多会影响正常对流，易导致晶体断线。 4）增加加热器上下宽度或更换老化的加热器。加热器宽度过小，或者老化，会导致加热集中在高温区，高温区外的溶液处于过冷状态。当强制对流时，过冷液会导致晶棒扭曲，这也是较短的热场晶棒容易变形的原因。5）增加中保温厚度和导流筒的保温效果。