OLED工艺流程AMP;原材料AMP;设备.docVIP

OLED主要原料工艺流程设备 一、主要设备 项目的主要生产设备如下表1。 表1项目主要生产设备表 No. 进口设备名称 型号规格 台 （套） No. 进口设备名称 型号规格 台 （套） 第一部分： 1 蒸镀封装一体机 Z650 1 37 基板储存盒 Original、专用 10 2 蒸镀封装一体机 ELVESS472CV 1 38 液晶检查用信号发生器 CM40 9 3 封装缺陷自动检验装置 Original/专用 1 39 液晶检查用信号发生器 CM40 4 4 掩膜板清洁机 15G-5001 1 40 脱泡器 Original/专用 1 5 膜厚测量椭偏仪 SE-5 1 41 洁净台车 Original、专用 3 6 显示屏寿命测量机 Original/专用 1 42 热处理箱盒 Original、专用 2 7 基板清洁装置 Original/专用 1 43 自动划片机 AMUMD-I-EE 1 8 有机EL发光检查机 DOEL-001 1 44 台式涂敷机器人 Shot mini 1 9 基板干燥设备 Original/专用 3 45 彩色信号分析装置 CA-210 1 10 UV照射修补装置 APC-2101 3 46 液晶检查用信号发生器 CM40PB 1 11 基板干燥设备 RO-24CL-AS 2 47 基板储存盒 Original、专用 10 12 条纹不均解析装置 EYE SCALE3 1 48 液晶检查用信号发生器 AFG320 1 13 UV照射装置 APC-2101 1 49 波型信号发生器 AGF320 1 14 特性评价装置 4460 1 50 台式涂敷机器人 4 15 显示屏驱动评价机 OEL-10 1 51 氮气氛围保管库 Original、专用 6 16 液晶检查用信号发生器 ULD05 2 52 UV树脂涂敷装置 2 17 基板切割装置 HLC-2100FT 3 53 空气采样机 MX-10 1 18 掩膜保管库 Original/专用 4 54 UV树脂涂敷装置 EXECURE3000 1 19 九点测量仪 Original/专用 1 55 台式涂敷机器人 2 20 基板检验夹具 Original/专用 1 56 彩色色差计 Original/专用 1 21 灰度测试装置 RISA-COLOR/CD7 1 57 液晶检查用信号发生器 CM40 3 22 检验自动判定装置 Original/专用 1 58 液晶检查用信号发生器 CM40 3 23 彩色分析仪 CA210 1 59 液晶检查用信号发生器 CM40 9 24 荧光光度仪 F-4500 1 60 图形发生器 LT436 1 25 大型显微镜 OPTIPHOT　300 1 61 玻璃端面研磨装置 Original/专用 1 26 掩膜保管库 Original、专用 4 62 台式机器人 SHOT MASTERⅢ 1 27 数字信号发生器 TS-1000 1 63 出厂印刷装置 MR410e-2 1 28 有机EL评价装置 SWM-9650 1 64 液晶检查用信号发生器 VG845 2 29 彩色分析仪 CA216 1 65 氮气氛围保管库 NB-GIF-6501 1 30 彩色分析仪 CA-210 2 66 氮气氛围保管库 Original/专用 1 31 彩色分析仪 CA-210 1 67 UV树脂涂敷装置 1 32 彩色分析仪 Original/专用 1 68 氮气氛围保管库 NB-GIF-6404 1 33 彩色分析仪 CA-210 3 69 彩色色差计 Original/专用 1 34 箱盒搬运机 Original、专用 6 70 UV光自由固定台 Original/专用 1 35 掩模板储存盒 Original、专用 5 71 小型蒸镀试验机 Mini labo/试验 1 36 升降机 Original/专用 1 第二部分： 1 清洗线 1 8 剥膜设备 1 2 干燥炉 SHB-81640-5V 4 9 外观检查 2 3 高精度曝光机 3 10 玻璃片上架传输机 1 4 显影机 2 11 玻璃片下架传输机 1 5 酸蚀机 1 12 清洁烘箱 2 6 光刻胶涂布机 3 13 玻璃表面检査装置 GI4730 1 7 紫外辐照炉 1 项目主要原料及其消耗见表2。 表2 主要原料及其年消耗量 序号 项 目 年使用量 最大贮存量 规格性质 1 ITO玻璃 10000片 1000片 335mm(550mm 2 OLED专用芯片 1200万片 120万片 3 偏