一种大气微波环形波导等离子体设备强激光与粒子束.PDF

　第 19 卷 　第 9 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol . 19 ,No . 9 　 　2007 年 9 月 H I GH PO W ER L A SER AND PA R TICL E B EA M S Sep . ,2007 　 文章编号 : 　100 14322 (2007) 09150 106 一种大气微波环形波导等离子体设备 刘 　亮, 　张贵新 , 　朱志杰 , 　罗承沐 ( 清华大学 电机工程与应用电子技术系, 北京 100084) 　　摘 　要 : 　微波等离子体相对其它等离子体而言有很多的优点 ,具有极高的工业应用价值 。但在大气条件 下 ,大体积的微波等离子体较难获得 。为达到产生该种微波等离子体并将之应用的目的 ,特设计了一台环形波 导反应腔设备并从事了等离子体激发的相关研究 。介绍了该设备的设计思路 ,给出了常用的非磁化微波等离 子体工作气体的击穿曲线 ,通过软件仿真得到了反应腔内的电场分布 ,并陈述了微波等离子体反应的基本现 象 。结合试验的结果 ,证明了软件仿真的正确性和装置的有效性 。目前 ,该装置可在大气压下顺利激发一定体 积的氦 、氩等离子体 。 　　关键词 : 　等离子体 ; 　微波 ; 　大气压 ; 　环形波导 ; 　设备 　　中图分类号 : 　O539 　　　　文献标识码 : 　A 　　微波等离子体由于有较高的电离度和电子密度 ,相对气体温度而言具有较高的电子温度和离子温度 ,可适 应的压强范围宽 ,能在高气压下维持等离子体 ,没有内部电极污染 ,高压源和等离子体发生器互相隔离 ,微波源 工作稳定 ,寿命长 ,微波泄漏小 ,安全防护工作比较成熟 ,安全因素高 ,工作宁静等优点[ 1 ] , 已经吸引了越来越多 的科研工作者从事微波等离子体激发和应用方面的研究 。而大气压下微波等离子体的产生和稳定运行 ,具有 很强的工业价值 ,也日渐成为了该领域的热点 。但是 ,在大气压下保证微波等离子体具有适应工业要求的大体 积 、大能量 ,仍有一定的难度 。目前 , 以等离子体炬方法获得大气压下的微波等离子体已比较常见 ,具有代表性 的有利物浦大学的AlShamma ’a 教授的 A M PJ (at mo sp heric microwave p la sma j et ) [2 ] ,但其等离子体体积不 大 ,应用有限。而大气下能激发较大体积的微波等离子体装置 ,只有德国的 C YRAN N U S 和 SL AN 系列得到 了广泛认可[34 ] 。在此领域 ,我们研究小组也花费了较多精力开展了研究并实际设计出一台大气压微波环形波 ( ) 导等离子体设备 ,称之为 A PM P S at mo sp heric p re ssure microwave p la sma sy st em 。本文将介绍该设备的设 计思路 、内部场强分布的仿真结果和微波等离子体的初步实验现象 。 1 　系统的设计 1 . 1 　整体装置 ( ) 　　我们搭建的微波等离子体装置 A PM P S ,主要由 1～10 k W ,2 . 45 GHz 的微波连续波功率源 、磁控管 、环 流器与水阻、四销钉调谐器 、矩形波导 、短路活塞 、模式转换波导和反应腔体组成 ,如图 1 所示 。微波激励波长 λ = 12 . 24 cm ,微波先通过规格为 WR430 的矩形波导 , 以 T E10 模式单模传输 ,后经过模式转换波导将方波转换 为圆波进入反应腔体 。为保证微波馈入反应腔的均匀性 、对称性和加工的需要 ,反应腔体设计为圆柱形 ,用以 激发等离子体 。 1 . 2 　腔体的设计 　　微波等离子体的反应腔体是整个系统的关键 ,我们设计的谐振腔体高 560 mm , 内径约