划片机配件-陶瓷绝缘底座.PDFVIP

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划片机配件-陶瓷绝缘底座

郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 ——陶瓷吸盘及相关产品简介 王先生 邮箱 wls@ QQ 419661107 1、企业简介 1.1综合情况介绍  创建于1958年 ,原机械工业部直属的一类科研院所,是我国磨料磨具行 业唯一的综合性研究开发机构。  全国磨料磨具、超硬材料行业技术研究、开发、信息和咨询服务中心。  1999年转制为科技型企业 ,隶属于 “中国机械工业集团有限公司”。 1、企业简介 1.1综合情况介绍  继1963年和1967年成功开发出中国第一颗人造金刚石和立方氮化 硼之后,我公司又相继开发出树脂金刚石砂轮、陶瓷CBN砂轮等一系列 填补国内空白的超硬材料制品。  1993年以我公司为依托组 建的 “国家超硬材料及制品工 程技术研究中心” ,标志着我 司在行业中的技术领先地位。 1、企业简介 1.2科研情况 通过技术创新,我所在高速、高效、精密磨具的研发与制造技术方面 始终处于国内领先地位。 建所50多年来,研究、开发科研成果1300余项,获国家和省、部级奖 励有150多项。 近5年来,承担各类科研项目 90余项,国家及中央部委级科研项 目20项,其中: 国家重大专项6项 国家科技支撑计划项目2项 科技部科研院所专项资金项 目12项 1、企业简介 1.3产业发展 转制以来,经营收入年平均增长率达到30% 以上,其中以替代进口为主 的新产品贡献率超过60% 。 我所新建的占地6.5万平米的产业化基地,为我所实现新的快速发展创建 了一个更加完善的平台。 2、陶瓷吸盘简介  陶 瓷 吸 盘 (Chuck Table)是我公司在2003年 开发的新产品 ,几年中大 量替代了进口陶瓷吸盘 , 应用于硅晶圆片、半导体 化合物晶圆片、玻璃、压 电陶瓷、LED、半导体封 装元件基板、光学元件减 薄、切割等领域。 2.1、陶瓷吸盘类型 按用途陶瓷吸盘分为:  减薄机上配备:磨片吸盘,硅片、蓝宝石衬底等减薄用;  切割机上配备:划片吸盘,硅片、半导体化合物晶圆片等切割用;  清洗机上配备:清洗吸盘;  揭膜机上配备:揭膜吸盘;  贴膜机上配备:贴膜吸盘;  印刷机上配备 : 印刷吸盘。 2.1、陶瓷吸盘类型 划片吸盘 磨片吸盘 陶瓷吸盘 Chuck Table 清洗吸盘 印刷吸盘 搬运吸盘 2.2、涉及到陶瓷吸盘的工艺流程  注:上图所示为两种工艺,共有四处涉及到陶瓷吸盘: 1、背面研削(背面减薄)加工工序需用

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