化学湿式蚀刻槽-微奈米科技研究中心-成功大学.PDFVIP

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2018-02-16 发布于天津
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化学湿式蚀刻槽-微奈米科技研究中心-成功大学.PDF

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化学湿式蚀刻槽-微奈米科技研究中心-成功大学

國立成功大學微奈米科技研究中心 TEL ：（06）2757575轉 31380 FAX ：（06）2080103 National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science Technology 化學濕式蝕刻槽 Chemical Wet Bench (Clean, Organic, Acid, Alkaline Processing) 本文件及文件之內容屬成大微奈米科技研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the Mirco/Nano Technology Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP Chemical Wet Bench (Clean, Organic, Acid, Alkaline Processing) 12345-678 1 涂琇真 2015/02 1 國立成功大學微奈米科技研究中心 TEL ：（06）2757575轉 31380 FAX ：（06）2080103 National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science Technology 目錄 I. 預約系統簡介 ……………………………………………3 II. 化學藥品使用守則 ………………………………………4 III. Wet bench操作…… ………………………………………6 IV. 廢棄化學藥品之處理 ……………………………………8 V. Spin coater 操作 …………………………………………9 VI. Hot plate 操作 …………………………………………15 VII. 黃光區置物櫃使用注意事項 ……………………………16 VIII. 無塵室冰箱使用注意事項………………………………16 附錄緊急傷害處理程序: ………………………………………17 本文件及文件之內容屬成大微奈米科技研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the Mirco/Nano Technology Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP Chemical Wet Bench (Clean, Organic, Acid, Alkaline Processing) 12345-678 1 涂琇真 20