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I电子能谱分析基础
I
电子能谱分析基础
一 电子能谱及其主要应用3
二 表面与表面分析5
三 电子能谱与表面灵敏性7
四 应用表面分析与真空技术10
五 原子能级及其表示12
六 粒子和物质的相互作用13
1-1
电子能谱(Electron Spectroscopy)
1-2
第一章 电子能谱分析基础
一 电子能谱及其主要应用
(
电子能谱是多种表面分析技术集合的总称 电子能谱是通过分析各种冲击粒子单
)
能光子 电子 离子 原子等 与原子 分子或固体间碰撞后所发射出的电子的能量来
测定原子或分子中电子结合能的分析技术 电子能谱包括 X射线光电子能谱 俄歇电
子能谱 真空紫外光电子能谱 电子能量损失谱等
( ) X
X射线光电子能谱 所用激发源 探针 是单色 射线 探测从表面出射的光电子的
X
能量分布 由于 射线的能量较高 所以得到的主要是原子内壳层轨道上电离出来的电
子 瑞典Uppsala大学物理研究所Kai Siegbahn教授及其小组在二十世纪五十和六十年代
逐步发展完善了这种实验技术 首先发现内壳层电子结合能位移现象 并将它成功应用
X
于化学问题的研究中 射线光电子能谱不仅能测定表面的组成元素 而且还能给出各
元素的化学状态信息 Kai Siegbahn 由于其在高分辨光电子能谱方面的杰出贡献荣获
1981年的诺贝尔物理奖
1923 Pierre Auger X
俄歇电子能谱 年法国科学家 发现 当 射线或者高能电子打到物
( )
质上以后 能以一种特殊的物理过程俄歇过程 释放出二次电子 俄歇电子 其能量
只决定于原子中的相关电子能级 而与激发源无关 六十年代末采用微分法和锁相放大
器技术将它发展成为一种实用的分析仪器 到了七十年代 出现了扫描俄歇 性能不断
改善 俄歇电子能谱以其优异的空间分辨能力 成为微区分析的有力工具 主要用于对
金属 合金和半导体等材料表面进行分析
真空紫外光电子能谱 它以真空紫外光(hν45eV)作为电离源 发射的光电子来自
原子的价壳层 它是由英国伦敦帝国学院David Turner于六十年代首先提出并应用于气
体分子的价电子结构的研究中 真空紫外光电子能谱为研究者们提供了简单直观和广泛
地表征分子和固体电子结构的方法 它比以前由光学光谱所建立的分子轨道理论的实验
基础深刻的多 主要用于研究固体和气体分子的价电子和能带结构以及表面态情况
E
电子能量损失谱 一束能量为 的电子在与样品碰撞当中将部分能量传递给样品原
p
(Feimi) E E
子或分子 使之激发到费密 能级以上的空轨道 而自身损失了 能量的电子以
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E 的动能进入检测器而被记录下来 依能量守恒原理 E = E - E 由能量损失谱可以
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