MV_RR_CNJ_0011透射电子显微镜方法通则-仪器信息网.PDFVIP

MV_RR_CNJ_0011 透射电子显微镜方法通则 1. 透射电子显微镜方法通则的说明 编号 JY/T 011—1996 名称 (中文) 透射电子显微镜方法通则 (英文) General rules for transmission electron microscopy 归口单位 国家教育委员会 起草单位 国家教育委员会 主要起草人 张大同 王永瑞 批准日期 1997 年 1 月 22 日 实施日期 1997 年 4 月 1 日 替代规程号 无 适用范围 本通则规定了透射电子显微镜的常规分析方法，适用于高压型、 高分辨型、普通型和简易型透射电子显微镜(以下简称透射电镜)。 主要技术要求 1.定义 2.方法原理 3.仪器 4.样品 5.分析步骤 6.分析结果表述 是否分级 无 检定周期(年) 附录数目 无 出版单位 科学技术文献出版社 检定用标准物质 相关技术文件 备注 2. 透射电子显微镜方法通则的摘要 本通则规定了透射电子显微镜的常规分析方法，适用于高压型、高分辨型、普通型和简 易型透射电子显微镜(以下简称透射电镜)。 2 定义 本标准采用下列定义。 2.1 分辨率 Resolution 透射电镜能明显分辨两个间距最小的物点和晶面的能力。 2.2 像散 Astigmatism 由于电磁透镜磁场的非旋转对称性，使透镜在相互垂直方向上的聚焦能力有差异，造成 图像模糊，这称为透镜像散。 2.3 电子衍射 Electron diffraction 电子束在晶体中散射，只在满足布拉格定律方向上有相互加强的衍射束出射，这种效应 称为电子衍射。 3 方法原理 透射电镜成像的决定因素是样品对入射电子的散射，包括弹性散射和非弹性散射两个过 程。薄样品成像时，未经散射的电子构成背景，而像衬度则取决于样品各部分对电子的不同 散射特性。采用不同的实验条件可以得到不同的衬度像。 透射电镜不仅能显示样品显微组织的形貌，而且可以利用电子衍射效应同时获得样品晶 体学信息。透射电镜的基本实验方法是成像方式和衍射方式。 3.1 成像方式 电子束通过样品进入物镜，在其像面形成第一电子像，中间镜将该像放大，成像在自己 的像面上，投影镜再将中间镜的像放大，在荧光屏上形成最终像，其放大倍率M为各成像透 镜放大倍率的乘积： M ＝M ·M …M (n通常为3～6) 1 2 n 3.2 衍射方式 如果样品是晶体，它的电子衍射花样呈现在物镜后焦面上，改变中间镜电流，使其对物 镜后焦面成像，该面上的电子衍射花样经中间镜和投影镜放大，在荧光屏上获得电子衍射花 样的放大像。 4 仪器 4.1 仪器结构 4.1.1 照明系统 由电子枪和聚光镜组成。电子枪提供尺寸小的稳定电子源，发射高亮度电子束。聚光镜 将电子束会聚，照射在样品上。 4.1.2 样品室和成像系统 照明系统下面是样品室。样品放在样品座上，可在规定范围内移动、倾转。成像系统由 物镜、中间镜、投影镜组成，将样品像逐级放大呈现在荧光屏上。 4.1.3 观察和记录系统 投影镜下面是观察室，通过窗口可观察到荧光屏上的图像，荧光屏下方放置照像底片， 荧光屏竖起即可曝光记录图像。 4.1.4 其它系统和附件 包括真空系统、电源系统、安全保护系统和水冷系统。有的还备有扫描附件、微衍射装 置、电子能量损失谱仪(EELS)和X