ICP发光分光分析原理及应用1首先ICP发光分光分析法从开始普及到.PDFVIP

上海浦东新区张江高科技园区碧波路690 号2 号楼 102 室 （201-203） TEL: (86)-21-5027-3533 FAX: (86)-21-5027-3733 ICP 发光分光分析 原理及应用 1. 首先 ICP 发光分光分析法从开始普及到现在已有大约25 年，在现在已作为无机分析的最通用的方法之 一被广泛利用。其特长是，被与原子吸光分光分析法比较的例子很多。相对于原子吸光分光分析法 的空气－乙炔火焰的激发温度为2000－3000K，氩ICP 的激发温度为5000－7000K 的高温，许多的元 素能够被有效激发。另外，使用惰性气体（氩气）的话不容易生成氧化物以及氮化物的事情等也已 经被认知。 2. ICP 发光分光分析法的原理 ICP （高频波感应耦合等离子体）是取英文的Inductively Coupled Plasma 的第一个字母的简称， 是发光分光分析法的其中一个方法。从外部向分析试料施加等离子体的能量之后，含有的成分元素 （原子）被激发。这些被激发的原子在回到低能量次序的时候发光线（光谱线）被释放出，是相当 于光量子的波长的发光线的测量方法。从发光线的位置来判断成分元素的种类，从其强度来寻求各 元素的含有量。 关于等离子体的生成，首先，放出氩气，将炬管顶端部位的线圈（WORK COIL）通上高频波电流。通 过高频波电流，由于在炬管内生成的电磁场使氩气发生电离，产生等离子体。此等离子体具有高电 子密度以及高温（10000K），通过这个能量来激发试料发光。溶液试料是在雾化状态下由炬管中央 的细管被导入到等离子体内的。 3. ICP的分析化学的特长 ICP 发光分光分析法是与以同样的目的被使用的原子吸光法比较，具有以下显示的特长 1）可以进行多元素同时分析、逐次分析 2）测量线的直线范围很广 3）化学干扰、离子化干扰少，可以进行高矩阵试料分析 4）高灵敏度（检测下限为对于大多数的元素是10 ppb 以下） 5）能够测量的元素较多，对用原子吸光法分析困难的Zr、Ta、稀土、P、B等能够容易地进行分 析 6）稳定性好 这些特长的大多数都是由于作为光源的等离子体的构造、特性而产生的。 4. 装置 发光分光分析的装置是，由光源部分、分光部分、检测部分、以及数据处理部分等构成的。根据 分光部分、检测部分的不同，有多个不同形式的装置。最为代表的装置如图1 所示。 1）顺序型 分光部分采用了Czerney Turner 型的单色仪，而检测部分采用光电增倍管的装置是最 普通的。用这个装置时，在对多元素进行测量的场合，能够逐次移动分光器的设定波长进行测量。 因此，虽然多元素的测量时间稍稍变长了，但是因为能够使用高分辨率的分光器，所以对高矩阵的 测量是有利的。 Copyright Hitachi Instruments (Shanghai) Co., Ltd. All rights reserved. (1) 上海浦东新区 张江高科技园区碧波路690 号2 号楼 102 室 （201-203） TEL: (86)-21-5027-3533 FAX: (86)-21-5027-3733 图1 顺序型ICP 发光分光分析装置 2）多元素同时分析型 分光部分采用了Echelle Cross 型的装置，检测部分采用CCD 等半导体检 测器的装置是代表性的。Echelle Cross分光器是通过组合棱镜与Echelle 格子镜，使测量可能的波 长区域的光在检