一维ZnO纳米结构气体传感器技术研究-红外技术.PDFVIP

第37 卷 第S1 期 红 外 技 术 Vol.37 No.S1 2015 年12 月 Infrared Technology Dec. 2015 一维 ZnO 纳米结构气体传感器技术研究 刁凯迪，崔旭东 （中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理实验室，四川 绵阳 621900 ） 摘要：待测气体化学吸附在 ZnO 纳米结构表面能改变材料的导电性能，通过探测电导或电阻的变化 可反馈出待测气体的成分和浓度。研究证实材料的表面结构及其形貌是影响气敏性能的重要因素。综 述了国内外一维 ZnO 纳米结构气体传感器的研究现状，分析了影响传感器性能的主要因素，展望了 其未来的发展方向。 关键词：一维纳米结构；ZnO；表面结构；气体传感器 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2015)S1-0048-07 Study on the One-dimensional ZnO Nanostructures Gas Sensors DIAO Kai-di ，CUI Xu-dong （Science and Technology on Plasma Physics Laboratory ，Research Center of Laser Fusion ，CAEP，Mianyang 621900 ，China） Abstract ：The chemisorption of the target gas on the surface of ZnO nanomaterials can change the electric conductance of the materials. Through detecting the variation of the conductance or the resistance, we can obtain the information about the composition and concentration of the target gas. Repots confirm that the surface structure and morphology are the important factors influencing the sensing performance. This paper reviews the research status of the one dimensional gas sensors, analyzes the key factors that influence the sensing performance, and predicts the future development. Key words ：one dimensional nanostructure，ZnO ，surface structure，gas sensor 0 引言 ZnO 是一种重要的直接带隙的宽禁带半导体材料。室温下的禁带宽度为3.37 eV，激子束缚能高达60 meV ， 能有效工作于室温（26 meV ）及更高温度，这些优良的性能使其在电子和光电领域具有广阔的应用前景。而当 其尺寸较小到纳米量级，ZnO 展现出一些独特的性能，如紫外光探测、压电性能、透明导电性等。其中一维纳 米结构，如纳米线、纳米棒、纳米管、纳米带等，因其比表面积大，与材料表面相关的性能，如催化和吸附性 能等，得到了大幅提升[1] [2] ，在传感领域备受关注并被用做气敏材料 。 气体传感器是一种检测气体成分和浓度的器件，它将气体成分及其与浓度有关的信息转换成电信号，根据 这些电信号的强弱获得与待测气体在环境中的存在情况有关的信息，被广泛的用于环境质量检测、工业生产过 程中的安全检测以及保障人们